في قسم الإنتاج، لا تُعتبر التغيرات الحرارية مجرد مؤشر يجب مراقبته فحسب، بل هي أيضًا سبب مباشر في فقدان الكفاءة الإنتاجية. فارق حراري بمقدار 0.5 درجة مئوية أثناء عملية التسخين الخفيف لطبقة الفوتوريزست قد يؤدي إلى اختلال في الأبعاد الحرجة للرقاقة. كما أن وجود مذيبات في الطبقة الموجودة على الرقاقة قد يؤدي إلى ظهور بقع على سطح الرقاقة، وهو ما يعني هدر المواد الخام.
لقد صممنا أجهزة التسخين الخاصة بنا بحيث تساعد في تجنب هذه المشاكل، خاصة في المراحل التي يتم فيها تحديد تصميم الرقاقة وتنظيفها.
ما الذي يُعتبر مهمًا فعلاً؟ نستخدم أجهزة إرسال أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة لنقل الطاقة الحرارية مباشرة إلى الرقاقة، بشكل سريع ومباشر ومتكرر. في جميع النطاقات الممكنة – من 60 درجة مئوية لعملية التسخين الخفيف، إلى 120 درجة مئوية لعملية التسخين الشديد – تظل درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية.
يتم ذلك بفضل نظام التحكم المتعدد المناطق، الذي يعوض عن تغيرات درجة حرارة الأجهزة مع مرور الوقت. كما أن الجهاز مصمم ليعمل في بيئة نظيفة من الدرجة 1 إلى 100، دون أي توليد للجسيمات أثناء عمليات التسخين، وذلك بعد اختبارات ميدانية.
لماذا يُستخدم هذا الجهاز في عمليات الطباعة والتنظيف؟ في عمليات الطباعة، يساعد التسخين المستمر في استقرار طبقة الفوتوريزست، مما يسمح بالتحكم الدقيق في الأبعاد الخاصة بالرقاقة، وبالتالي تقليل الحاجة إلى إعادة العمل على الرقاقات.
أما في عملية تجفيف الرقاقات، فإن نفس الجهاز يساعد في التخلص من المذيبات دون أن يؤدي ذلك إلى ظهور عيوب على سطح الرقاقة، وبالتالي تقليل الأعطال الكهربائية.
كما أن القدرة على التسخين السريع والتحكم الدقيق في درجة الحرارة يساعدان في تقليل وقت العمليات، بالإضافة إلى توفير الطاقة المستخدمة. كما أن الجهاز مصمم ليعمل بشكل مستمر لمدة 24 ساعة في اليوم، دون أي توقفات غير مخطط لها، مما يضمن استمرارية الإنتاج وقابلية التنبؤ بجداول الصيانة.
التفاصيل التي تساعد في تجنب المشاكل استخدام أجهزة إرسال أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة يتطلب التحكم الدقيق في درجة الحرارة، خاصة في الحالات التي تتطلب حساسية عالية تجاه المواد البوليمرية. نحن نوفر مكتبات من الخوارزميات المخصصة لكل نوع من الرقاقات، كما أن فريق التطبيقات لدينا سيساعدك في ضبط أوقات التعرض للضوء ودرجات الحرارة المناسبة.
يتطلب التركيب وجود خط كهربائي بجهد 240 فولت، بالإضافة إلى نظام تهوية فعال للحفاظ على توازن الضغط في البيئة النظيفة. باستخدام الجهاز بشكل صحيح، لا تصبح درجة الحرارة مشكلة، بل تصبح عاملاً قابلًا للتحكم فيه.