في خط 300mm، الخَبز اللين ليس خيارًا — إنه ميزانية الحرارة الخاصة بك، ببساطة. اختلاف بمقدار 2°C عبر الرقاقة قد يحرك البُعد الحرج (CD) بنانومترات، وغرفة التفريغ تزيد من أي انحراف. لقد صممنا سخان الأشعة تحت الحمراء لغرفة التفريغ لدينا لإزالة هذا التغير من المعادلة، بحيث تبقى درجة الحرارة قابلة للتكرار حيث تحتاج عمليات الطباعة الحجرية والأفلام الرقيقة ذلك.
ما يهم تحت الغطاء
نستخدم مصابيح الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة (NIR) داخل غلاف كوارتز سريع الاستجابة، مضبوط ليستقر بسرعة تحت التفريغ. ثبات درجة الحرارة عبر مستوى الرقاقة يحافظ على ±0.1°C خلال نافذة العملية، والتكرار بين الدفعات يبقى ضمن ±0.5°C. جسم السخان مصمم للاندماج مع غرف نظيفة من الفئة 1–100: مواد منخفضة الانبعاثات وتصميم يقلل من الجسيمات لمنع التلوث على الرقاقة. الإخراج يبقى ثابتًا من وضع السكون حتى الحمل الكامل، ودائرة التحكم تعوض عن تغييرات الانبعاثية عبر الرقائق المنقوشة دون تجاوز.
لماذا يُستخدم هذا في معالجة الفوتوريسست
في عمليات الخَبز اللين، الخَبز الصلب، وخَبز ما بعد التعريض، دقة درجة الحرارة تعني تحكمًا مباشرًا في البُعد الحرج، تناسق ملفات الجوانب، وتقليل دفعات إعادة العمل. السخان نظيف وغير مباشر، مما يقلل من التأخر الحراري ولا يُدخل تلوثًا في مناطق السخونة. هذا يحافظ على ثبات عدد الجسيمات وأداء العيوب بشكل متوقع. بالنسبة للعُقد المتقدمة، هذا يعني زيادة في نسبة النجاح من المحاولة الأولى وتقليل الخردة. بالنسبة للمصنع، يعني أن العملية الحرارية تتصرف بنفس الطريقة في الساعة 3 صباحًا كما في الساعة 3 مساءً.
ما يجب التخطيط له
يجب تثبيت الوحدة حراريًا بشكل محكم على كتلة الغرفة لتحقيق هدف الثبات — أي انحراف يظهر كدرجة حرارة متدرجة يمكن قياسها. ستتم عملية التشغيل بسرعة بمجرد ضبط جداول الانبعاثية حسب تكديس الأفلام الخاص بك. بعد ذلك، يعمل السخان بصيانة قليلة، لكن إخراج المصابيح يتناقص مع الوقت. خطط لاستبدالها بناءً على وقت التشغيل وحساسية العملية الخاصة بك.