একটি 300mm লাইনেই, পরিষ্কারের পর একটি মাত্র জল দাগ পুরো ব্যাচকে নষ্ট করার জন্য যথেষ্ট। এই ব্যর্থতা পরিস্থিতি কাটিয়ে উঠতে আমরা Deionized Water Drying Lamp নির্মাণ করেছি, যা আপনাকে নিয়ন্ত্রিত বাষ্পীভবন দেয়, কোনো ফিল্ম অবশিষ্টাংশ বা কণা বিচ্যুতি ছাড়াই।
প্রযুক্তিগত দৃষ্টিকোণ থেকে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়সমূহ
ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটারগুলোকে একটি সিল করা, ক্লিনরুম-সঙ্গত হাউজিংয়ের মধ্যে রাখে। এটি ওয়েফার পৃষ্ঠকে সরাসরি উত্তপ্ত করে, ফলে প্রকোষ্ঠগত গরম হওয়ার দেরি এড়ানো যায়। ওয়েফারের উপর তাপমাত্রার সমতা ±0.1°C এ বজায় থাকে, এবং সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি 10,000+ বেক সাইকেলের মধ্যে ±0.2°C এ থাকে।
ঠান্ডা শুরু থেকে একটি স্থিতিশীল বেক প্রোফাইলে আসতে ৩০ সেকেন্ডেরও কম সময় লাগে, এবং এটি ISO Class 1–100 এর বেসলাইন অনুযায়ী শূন্য কণা উৎপাদনের সাথে চলে। সিস্টেমটি ২৪/৭ কাজের জন্য ডিজাইন, যার মধ্যে আছে পূর্বাভাসমূলক তাপীয় প্রতিক্রিয়া, যা ৫,০০০ ঘণ্টারও বেশি সময়ে আউটপুট ড্রিফট ৫%-এর নিচে রাখে।
বাস্তব প্রক্রিয়া ধাপে এটি কেন কার্যকর
পোস্ট-ক্লিন ড্রায়িং এবং ফটোরেজিস্ট বেক ধাপে ল্যাম্পটি আপনার তাপীয় বাজেট রক্ষা করে অতিরিক্ত উত্তাপ এড়িয়ে — যা TTOP পাতলা হওয়া বা ফুট প্রোফাইল পরিবর্তনের কারণ হতে পারে। এর ফলে সফট বেক এবং হার্ড বেকে আপনি আরও সুসংহত CD নিয়ন্ত্রণ পাবেন এবং পুনরায় কাজের প্রয়োজন কম হবে, পাশাপাশি পুরো চেম্বার বেক প্লেট চালানোর তুলনায় শক্তি খরচ কমে।
আপনি প্রক্রিয়ার উইন্ডো বড় করতে পারবেন এবং উচ্চ থ্রুপুট পেতে পারবেন, আর জলদাগের অবশিষ্টাংশের কারণে ব্যাচ নষ্ট হওয়া বন্ধ হবে।
পরিকল্পনার জন্য যা প্রয়োজন
ল্যাম্পটি ক্লিনরুম-গ্রেড মাউন্টিং এবং একটি নিবেদিত, ফিল্টার করা পাওয়ার ফিড প্রয়োজন যা তাপীয় স্থিতিশীলতাকে নিয়ন্ত্রণে রাখে। এটি 150/200/300mm ওয়েফারগুলোর জন্য অপ্টিমাইজ করা হয়েছে।
রেট্রোফিট কিটগুলো বেশিরভাগ ট্র্যাক প্ল্যাটফর্মের সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ, তবে যদি আপনি লিগ্যাসি ওভেনে সংযুক্ত হন, তবে বিকিরণ ক্ষেত্র সঠিকভাবে স্থাপন করতে একটি কাস্টম ফিক্সচার প্রয়োজন হতে পারে। আপনার বেক প্রোফাইল নিশ্চিত করতে এবং কণা কর্মক্ষমতা আপনার বেসলাইনের সাথে মিলছে কিনা যাচাই করার জন্য একটি স্বল্প সিক্যুয়াল রানের পরিকল্পনা করুন।