
কেন আমরা হট এয়ারের পরিবর্তে ওজোন-মুক্ত আইআর ব্যবহার করছি?
সত্যি বলতে, সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকরণে হট এয়ার ব্যবহার করা খুবই ধীরগতির প্রক্রিয়া। এখানে বাতাসকে উত্তপ্ত করতে অনেক সময় লাগে; আশা করা হয় যে বাতাসটি অবশেষে চিপটিকে উত্তপ্ত করবে। এটা একটি অপ্রয়োজনীয় প্রক্রিয়া, যা অনেক সময় নষ্ট করে।
ওজোন-মুক্ত আইআর ল্যাম্প ব্যবহার করলে পরিস্থিতি পুরোপুরি পরিবর্তিত হয়। এখানে বাতাসের অপেক্ষা না করে রেডিয়েশন ব্যবহার করা হয়; এনার্জিটি সরাসরি চিপের ওপর পড়ে। কোনো মধ্যবর্তী প্রক্রিয়া নেই—শুধুমাত্র তাপ।
কনভেকশন পদ্ধতির সমস্যাগুলো
যারা হট এয়ার সিস্টেম ব্যবহার করেছেন, তারা জানেন যে উত্তপ্ত হতে অনেক সময় লাগে; আর থার্মাল ল্যাগও একটি বড় সমস্যা। চিপের আকৃতি পরিবর্তন করলে অ্যার ফ্লো পুনর্ক্যালিব্রেট করতে আবার ঘন্টার পর ঘন্টা সময় লাগে।
আমাদের আইআর ল্যাম্পগুলো এই সমস্যাগুলো দূর করে। আমরা নির্দিষ্ট ধরনের কোয়ার্টজ ও ফিল্টারযুক্ত ইমিটার ব্যবহার করি; এতে ১৮৫ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো বাধা পায়। কেন? কারণ এই তরঙ্গদৈর্ঘ্যটিই অক্সিজেনকে ওজোনে রূপান্তরিত করে। ক্লিনরুমে ওজোন একটি বড় সমস্যা—এটি সবকিছুকে দূষিত করে এবং সংবেদনশীল চিপগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। এটা বাধা দিয়ে আমরা প্রক্রিয়াটিকে পরিষ্কার রাখি।
আইআর ব্যবহারের ফলাফল
আইআর হিটিং ব্যবহার করলে আপনি নির্দিষ্ট জায়গাকে লক্ষ্য করে তাপ প্রয়োগ করতে পারেন; পুরো চেম্বারটিকে উত্তপ্ত করার দরকার নেই।
এটা খুবই দ্রুত। আমাদের অভিজ্ঞতায়, আইআর ব্যবহার করলে প্রক্রিয়াটি ৪০% থেকে ৭০% দ্রুত সম্পন্ন হয়। আপনি চাইলে তাপের মাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে পারেন।
সমস্যাগুলো
আইআর ল্যাম্পগুলোকে সাধারণ কনভেকশন ওভেনে ব্যবহার করা যায় না। আইআর ল্যাম্পগুলো সরাসরি আলো পাঠায়; যদি চিপের আকৃতি অস্বাভাবিক হয়, তাহলে আলো সেখানে পৌঁছাতে পারে না। এই সমস্যা সমাধান করতে বহু ল্যাম্প বা রিফ্লেক্টর ব্যবহার করতে হয়।
আরেকটি বিষয়: যেহেতু তাপ খুব দ্রুত স্থানান্তরিত হয়, তাই কন্ট্রোলারগুলোকেও দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেখাতে হয়। যদি ধীরগতির PID লুপ ব্যবহার করা হয়, তাহলে লক্ষ্য তাপমাত্রা অতিক্রম হয়ে যাবে এবং চিপটি ক্ষতিগ্রস্ত হবে। তাই ল্যাম্পগুলোর মতোই দ্রুত প্রতিক্রিয়া দেওয়ার ক্ষমতাসম্পন্ন সিস্টেম দরকার।