ফ্যাব ফ্লোরে
ওয়েফার শুকানোর সময় বা ফটোরেজিস্ট বেকের সময় 0.1°C ড্রিফট একটি গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাকে স্পেক থেকে দূরে সরিয়ে দিতে যথেষ্ট। আপনি জানেন পরবর্তী কি হয়—স্ক্র্যাপ, এবং একটি লাইন থেমে যায়। পরিদর্শন টুলের হিটারগুলি অ্যাড-অন নয়। এগুলি হল তাপীয় অঙ্গভঙ্গি যা প্রক্রিয়াটিকে সৎ রাখতে সহায়তা করে, একটির পর একটি।
আমরা আমাদের সেমিকন্ডাক্টর পরিদর্শন টুল হিটারটি তৈরি করেছি যাতে ওয়েফার-স্তরের তাপীয় সমতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, যাতে প্রতিটি সফট বেক, হার্ড বেক এবং কিউর সঠিক স্থানে ঘটে।
কারণ যা ভিতরে গুরুত্বপূর্ণ আমরা দ্রুত সাড়া দেওয়া লো-মাস উপাদান ব্যবহার করি, যা একটি ক্লিনরুম-সঙ্গত আর্কিটেকচারের সাথে মিলে যায় যা স্থিতিশীল, সমতল তাপ সরবরাহ করে, কণাগুলি যোগ না করেই। হিটারটি 24/7 চলমান অবস্থায় সেটপয়েন্ট পুনরাবৃত্তি ধরে রাখে—এমনকি যখন দরজা সাইকেল করে এবং তাপীয় লোড পরিবর্তিত হয়। এর ফলে সফট বেক এবং হার্ড বেক উইন্ডোর মধ্যে কঠোর নিয়ন্ত্রণ হয়, এবং কিউরিং প্যাকেজ জুড়ে সঙ্গতিপূর্ণ থাকে।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর এটি ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট বেকিং, প্যাকেজিং কিউর, এবং 清洗干燥 এ ফেলা যায়, তবে স্টেশনটি পুনরায় যোগ্য করতে হবে না। কঠোর সমতা প্রান্ত বীড এবং ত্বক প্রভাবকে কাটিয়ে দেয়, তাপীয় শোষণকে সংক্ষিপ্ত করে এবং স্ক্র্যাপ কমিয়ে দেয়। আপনি শক্তি সাশ্রয়ও করেন কারণ হিটারটি দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছে এবং সর্বনিম্ন অতিরিক্তভাবে এটি ধরে রাখে।
কিছু ব্যবহারিক নোট টুল-নির্দিষ্ট মাউন্টিং এবং একটি পরিষ্কার তাপীয় ইন্টারফেসের জন্য পরিকল্পনা করুন—পারফরম্যান্স একটি সমতল, পরিষ্কার মেটিং পৃষ্ঠের উপরে নির্ভর করে। নিশ্চিত করুন যে ভোল্টেজ এবং সংযোগকারী আপনার স্টেশনের সাথে মেলে, এবং পার্শ্ববর্তী অপটিক্সের তাপীয় বাজেট নিশ্চিত করুন। নিকট-আইআর উত্সগুলির সঠিক শিল্ডিং প্রয়োজন। হিটারটিকে টুলের সাথে মেলান, এবং প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে।