লাইনে, লিথোগ্রাফি সেলগুলো ড্রিফট মোকাবেলা করতে পারে না। “সফ্ট বেক”-এর সময় ২°C এর পরিবর্তন হলে ফটোরেজিস্টের পুরুত্ব পরিবর্তিত হয়; আর “হার্ড বেক”-এর...

Out on the fab floor, a few degrees of temperature drift during the photoresist bake isn’t a “minor deviation.” It punches straight at Critical...