Úvod
Pravda je taková: vyrábíme součásti na ohřev resistů pro technologii EUV z jednoho prostého důvodu – abychom zajistili nepřerušený provoz vašich litografických zařízení. Žádné výpadky. Žádné problémy.
Specifikace jsou náročné, tolerance velmi malé a prostředí extrémní. Proto stojíme za našimi součástmi s platnou zárukou kvality na 24 měsíců. A pokud se něco pokazí, máme pro vás 24-hodinovou technickou podporu. Protože když je váš provoz přerušen, každá minuta vás stojí skutečné peníze.
Technické detaily
Ohřev resistů v technologii EUV vyžaduje přesnou kontrolu teploty. Proto jsou naše ohřívače navrženy s vstupním napětím 400 V a výstupním výkonem 2500 W. Tato kombinace vysokého napětí a výkonu zaručuje rychlé zahřátí a stabilní teplotu – právě to potřebujete pro konzistentní fungování resistů.
Vybrali jsme délku trubice 300 mm z určitého důvodu: perfektně se hodí do standardních oblastí ohřevu resistů. To znamená, že jde o okamžitou náhradu – bez nutnosti měnit geometrii komory. Můžete tedy součástku rychle vyměnit a pokračovat v práci.
Materiál a design
Uvnitř se nachází krátkovlnný halogenový prvek obalený v kvartzové obálce. Kvartz dokonale zvládá rychlé zahřívání a chlazení, a navíc zůstává čistý i ve vakuu. Krátkovlnné spektrum zaměřuje energii přímo tam, kde je potřeba, s minimálním množstvím vedlejšího záření.
A ten speciální odrazivý povlak? Ten směruje infračervenou energii přímo na cíl, čímž dosahujete lepšího spojení s materiálem a méně plýtvání teplem.
Konektor R7s zajišťuje pevné spojení všech komponent, dokonce i při vibracích. Je snadné ho zapojit, což usnadňuje instalaci a pomáhá předcházet problémům na místech spojení.
Použití a výhody
V aplikaci ohřevu resistů v technologii EUV tento systém poskytuje vysokou hustotu tepla přímo tam, kde je potřeba – abyste mohli rychle a spolehlivě regulovat teplotu.
Ta 24měsíční záruka kvality není jen slovo. Je podložena kontrolovanou výrobou a testováním v reálných podmínkách, takže můžete s jistotou plánovat údržbu.
A když se v provozu něco změní, naše 24-hodinová technická podpora vám pomůže rychle vyřešit problémy.
Je potřeba mít na paměti: provoz při napětí 400 V a výkonu 2500 W vyžaduje efektivní chlazení. Systém chlazení vašeho zařízení musí být dostatečně silný. My poskytujeme ohřívače – a také podporu – abychom zajistili stabilitu vašeho procesu.