V výrobních prostorách neodpouští 24/7 provoz žádné odchylky v teplotě. Měkké vypalování při teplotě 95 °C, tvrdé vypalování při teplotě 110 °C – právě tyto teploty určují možnosti kontroly šířky linky a také množství vad. Pokud dojde k odchylkám v rovnováze teploty nad ±0,5 °C, hrozí ztráty kvality výrobku a vznik vad.
Náš tepelný modul byl navržen tak, aby splňoval skutečné požadavky polovodičového vybavení – lze ho použít místo běžných zařízení na vypalování v fotolitografii a pro pokročilé balicí procesy. Je plně ověřený.
Co je z technického hlediska důležité
Naše ohřívače bez halogenů, přizpůsobené pro použití v oblasti infračerveného záření, udržují rovnováhu teploty na úrovni ±0,1 °C na podkladech o velikosti 150 mm a 200 mm. Opakovatelnost hodnot teploty je dokonce pod ±0,05 °C. Architektura je vhodná pro použití v čistých prostorách tříd 1–100. Po dosažení stabilního stavu nevznikají žádné částice o velikosti větší než 0,1 μm. Izolace z uhlíkových vláken snižuje spotřebu energie až o 25 %. Teplotu lze zvyšovat rychlostí 10 °C/s bez překročení stanovených hodnot.
Kvartová okna a standardní konektory odpovídají specifikacím SEMI.
Proč je to výhodné v výrobních prostorách
V prostorách určených k fotolitografii tento tepelný kontrolní systém zlepšuje rozložení teploty a snižuje množství produktů potřebných k opravě. V balicích linkách stabilizuje tepelné podmínky během procesů vytvrzování a plnění mezer – méně prázdných prostorů, méně delaminace. Spolehlivost systému je vyšší než 10 000 hodin, bez jakýchkoli neočekávaných přerušení během několikaměsíčního provozu. Dosažíte rychlejšího certifikování, méně odpadu a předvídatelných nákladů na energii – bez změny stávajících procesů.
Co je potřeba vzít v úvahu při plánování
Pro instalaci je potřeba samostatný napájecí obvod o napětí 24 VDC, spolu s odpovídající ventilační sítí pro tepelný modul. Očekávejte přibližně 24 hodin na kalibraci a nastavení tepelných profilů pro vaše produkty.
Systém splňuje specifikace SEMI. Pokud však integrujete systém s staršími řídicími jednotkami, může být potřeba aktualizace ovládacích prvků. Poskytujeme specifikace rozhraní a služby pro nasazení na místě, takže změna proběhne bez problémů.