V provozu na výrobě není proces sušení fotorezisty jen dalším krokem v procesu výroby. Jedná se o „termický kotvicí bod“, který zabraňuje odchylkám v kontrole rozměrů. I malá odchylka 2 °C během měkkého nebo tvrdého sušení může vést k problémům v celém procesu litografie. V takovém případě se celý proces musí přizpůsobit specifikacím, místo aby je dodržoval.
Naše lampy na sušení fotorezistu jsou navrženy tak, aby tento „termický kotvicí bod“ zůstal stabilní i po celou dobu provozu.
Co je technicky důležité Používáme ohřev v oblasti blízké infračerveného spektra, abychom dosáhli termální jednotnosti na úrovni submilimetrů na povrchu waferu. Tato metoda umožňuje udržování stabilní teploty v úzkých mezích. Profil sušení je optimalizovaný pro fotorezist – energie je dodávána rychle, aniž by došlo k poškození materiálu. Teplota je konstantní po celé ploše waferu a dochází k rychlému obnovování stavu mezi jednotlivými sériemi výroby.
Výsledkem je jednoduchý – proces sušení funguje jako pevný parametr, nikoliv jako cíl, který se neustále mění.
Proč je to důležité v litografii Proces sušení fotorezistu ovlivňuje odstraňování rozpouštědel a adhezi vrstvy fotorezistu na povrchu waferu. Díky těmto lampám dosahujeme termální jednotnosti na úrovni waferu, provoz vhodný pro čisté prostředí a absence částic. Výnos z výroby zůstává vysoký a množství odpadu se snižuje.
Systém pracuje 24/7 s předvídatelnými výsledky, takže dochází ke snížení plánovaných přerušení. Strávíte méně času na úpravy parametrů sušení a více času na výrobu kvalitních produktů.
Co je potřeba správně nastavit Lampy v oblasti blízké infračerveného spektra vyžadují pečlivou integraci do stanice sušení – zarovnání s povrchem waferu, kontrolované chlazení a vhodné ochranné opatření pro chránění okolní optiky a materiálů. Kvalitní napájení a efektivní řízení tepla jsou nezbytné pro udržení termální jednotnosti.
Poskytujeme pokyny k instalaci, aby lampy od prvního dne splňovaly specifikace. Systém je také navržen tak, aby odpovídal geometrii vaší komory a cílům výkonu.