Udržování čistoty waferů: Pravda o prasknutích lamp Pokud provádíte výrobu waferů ve vysokém měřítku, určitě znáte ten noční můru – lampa praskne....

Na výrobní lince je posun o 0,1 °C během sušení plátků nebo vypalování fotorezistu dostatečný k vychýlení kritické dimenze ze specifikace. Následuje...