Stoppen Sie die Scherbenbildung: Halten Sie Ihre Wafer sauber, wenn IR-Lampen versagen
In einer Produktionslinie für Halbleiter kann ein einziger Defekt den ganzen Ablauf durcheinanderbringen. Ich meine damit den Fall, dass eine IR-Lampe versagt. In solchen Fällen hat man es nicht nur mit einer kaputten Glühbirne zu tun – sondern auch mit Quarzscherben und metallischem Staub, die auf die Substrate fallen. Das ist wirklich ein Albtraum.
Deshalb bauen wir unsere Heizgeräte für Reinräume so, dass diese Art von Problemen bereits im Vorfeld verhindert wird.
Die Realität bei Lampendefekten
Hocheffiziente IR-Lampen müssen ständig mit hohen Temperaturen umgehen. Sie müssen gegen die Hitze des Glühfadens sowie gegen die Kälte an den Enden der Lampe ankämpfen. Wenn das Quarzmaterial nicht ausreicht, bricht es unter diesem Druck.
Wir verwenden kein billiges Material. Stattdessen nutzen wir synthetisches Quarz mit dicken Wänden und hoher Reinheit. Dadurch entstehen keine Verformungen, was wiederum das Risiko von Defekten minimiert.
Eine zusätzliche Sicherheitsmaßnahme
Aber selbst das beste Quarzmaterial kann versagen. Man kann schließlich nicht sein gesamtes Produkt auf die Stärke einer einzelnen Lampe verlassen. Deshalb haben wir einen physischen Schutzschirm hinzugefügt. Wenn eine Lampe zerbricht, fängt der Schutzschirm die Scherben auf. Dadurch bleiben die Wafer unbeschädigt.
Außerdem haben wir auch die elektrischen Anschlüsse überprüft. Locker sitzende Anschlüsse können zu Hotspots führen, die das Quarzmaterial beschädigen. Wir haben diese Anschlüsse durch präzise passende Steckverbinder ersetzt, damit alles kühl und stabil bleibt.
Der Zusammenhang zwischen Schutzmaßnahmen und Leistung
Es gibt jedoch einen Nachteil: Wenn man einen Schutzschirm zwischen die Wärmequelle und die Wafer platziert, geht etwas von der direkten Strahlung verloren. Um die erforderliche Leistung wiederzuerlangen, muss man vielleicht die Leistung der Lampe erhöhen oder die Zeit der Belichtung anpassen.
Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung die zusätzliche Belastung bewältigen kann. Andernfalls kommt es zu Spannungsabfällen, was wiederum zu ungleichmäßiger Erwärmung führt – und das bedeutet wiederum, dass eine Charge verschwendet wird.