In der Fertigungshalle zulässt das 24/7-Produktionskonzept keine Abweichungen in der Temperatur. Eine sanfte Behandlung bei 95°C sowie eine intensivere Behandlung bei 110°C – diese Temperaturen bestimmen die Kontrolle der Linienbreite sowie die Toleranzen bezüglich Defekten. Wenn die Temperaturabweichungen über ±0,5°C hinausgehen, entstehen Probleme wie CD-Verluste oder andere Fehler.
Wir haben unseren thermischen Kern so entwickelt, dass er den tatsächlichen Anforderungen von Halbleitergeräten entspricht – er kann direkt in die Photolithografieprozesse sowie in fortschrittliche Verpackungsmaschinen integriert werden. Zudem ist er vollständig getestet.
Was technisch wichtig ist: Unsere halogenfreien Heizer, die für das NIR-Bereich optimiert sind, sorgen dafür, dass die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C gehalten wird – unabhängig davon, ob es sich um Substrate mit einer Größe von 150 mm oder 200 mm handelt. Die Genauigkeit der Temperaturregelung liegt bei ±0,05°C.
Die Architektur des Systems eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100. In einem stabilen Betriebszustand entstehen keine Partikel größer als 0,1 μm. Die Kohlefaserverkleidung reduziert den Energieverbrauch um bis zu 25%. Zudem kann die Temperatur mit einer Geschwindigkeit von 10°C/s angepasst werden, ohne dass es zu Überschreitungen kommt.
Die Quarzfenster sowie die Standardanschlüsse entsprechen den SEMI-Vorgaben.
Warum das System in der Fertigungshalle nützlich ist: In der Lithografiebahn sorgt die präzise Temperaturregelung dafür, dass die CD-Werte konstant bleiben und die Anzahl der Nacharbeitsgänge reduziert wird. In den Verpackungslinien stabilisiert das System den thermischen Prozess während des Aushärtens der Formen sowie beim Einfüllen von Materialien – dadurch entstehen weniger Lücken und Delaminierungen.
Die Zuverlässigkeit des Systems liegt bei mehr als 10.000 Stunden Betriebsdauer, ohne dass es zu ungeplanten Stillstandszeiten kommt. Dadurch wird die Qualifizierung des Systems beschleunigt, die Menge an Ausschuss verringert und die Kosten für die Energieversorgung werden vorhersehbar – ohne dass die bestehenden Prozesse verändert werden müssen.
Was Sie planen müssen: Für die Installation ist eine separate 24-V-DC-Stromversorgung sowie ein emissionsarmes Entlüftungssystem erforderlich. Es dauert etwa 24 Stunden, bis die Temperaturprofile für alle Produkttypen festgelegt sind.
Das System entspricht den SEMI-Vorgaben. Falls Sie es mit älteren Steuerungen integrieren möchten, könnten Sie eine Anpassung der Steuerungssoftware benötigen. Wir stellen Ihnen die notwendigen Anschlussspecs sowie die Unterstützung bei der Inbetriebnahme zur Verfügung – sodass der Umstieg reibungslos verläuft.