Im Produktionsbereich ist das Trocknen des Photoresists kein bloßer weiterer Schritt – es handelt sich dabei vielmehr um eine entscheidende Komponente, die dazu dient, eine konstante Kontrolle der wichtigen Dimensionen zu gewährleisten. Selbst eine Abweichung von 2 °C während des Trocknens kann dazu führen, dass alle Anstrengungen im Bereich der Lithografie zunichte gemacht werden. Dann muss man ständig versuchen, die spezifizierten Parameter einzuhalten – anstatt sie tatsächlich zu erreichen.
Wir haben unsere Lampen für das Trocknen des Photoresists so konzipiert, dass sie diese Konstanz auch bei wiederholten Prozessschritten aufrechterhalten können.
Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Infrarotbeleuchtung, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der gesamten Oberfläche des Wafer zu erreichen. Dadurch wird eine präzise Steuerung der Temperatur möglich – innerhalb enger Toleranzen. Die Energie wird schnell abgegeben, ohne dass der Photoresist beschädigt wird. Zudem bleibt die Temperatur über die gesamte Fläche konstant, und es kommt zu keiner schnellen Temperaturänderung zwischen den verschiedenen Chargen.
Der Vorteil ist klar: Das Trocknungsverfahren verhält sich wie ein fester Parameter – nicht wie ein variabler Wert.
Warum das in der Lithografie wichtig ist: Das Trocknen des Photoresists beeinflusst die Entfernung der Lösungsmittel sowie die Haftung des Films auf dem Wafer. Mit diesen Lampen wird eine gleichmäßige Wärmeverteilung erreicht, was wiederum zu einer sauberen Produktion führt – ohne Bildung von Partikeln. Dadurch bleibt die Ausbeute hoch und die Menge an Ausschuss gering.
Das System arbeitet rund um die Uhr mit vorhersehbarem Ergebnis – dadurch werden unplanmäßige Unterbrechungen vermieden. Man verschwendet weniger Zeit damit, die Einstellungen anzupassen, und mehr Zeit damit, qualitativ hochwertige Produkte herzustellen.
Was man beachten muss: Die Infrarotlampen müssen sorgfältig in die Trockenungsanlage integriert werden: Sie müssen perfekt ausgerichtet sein, es muss eine kontrollierte Kühlung vorhanden sein, und außerdem müssen geeignete Schutzmaßnahmen ergriffen werden, um die umliegenden Optiken und Materialien zu schützen. Eine zuverlässige Stromversorgung sowie eine gute Wärmeabfuhr sind unerlässlich, wenn man eine konstante Temperatur gewährleisten will.
Wir bieten Anleitung zur Installation, damit die Lampen bereits vom ersten Tag an den erforderlichen Standards entsprechen. Zudem passen wir das System den Gegebenheiten Ihrer Produktionsanlage sowie Ihren Leistungsvorgaben an.