En la planta de fabricación, el ritmo de trabajo 24/7 no permite errores relacionados con las fluctuaciones térmicas. La cocción a baja temperatura se realiza a 95°C, mientras que la cocción a alta temperatura se lleva a cabo a 110°C. Estas temperaturas determinan el control del ancho de línea y el nivel de defectos que se pueden tolerar. Si la uniformidad térmica se desvía más de ±0.5°C, se producen problemas como pérdida de calidad de los productos y defectos en su superficie.
Hemos diseñado nuestro núcleo térmico para satisfacer las necesidades reales de los equipos de semiconductores: es compatible con los sistemas de cocción utilizados en la fotolitografía y con las herramientas de empaquetado avanzadas. Además, está completamente validado.
Lo que realmente importa desde un punto de vista técnico: Nuestros calentadores sin halógenos, ajustados para funcionar en el rango del NIR, mantienen una uniformidad térmica de ±0.1°C en sustratos de 150 mm y 200 mm. La repetibilidad de los valores de temperatura es de ±0.05°C.
La arquitectura del sistema es adecuada para entornos de sala limpia de clase 1–100. Una vez que el sistema está en estado estable, no se generan partículas mayores a 0.1 μm. El aislamiento hecho de fibra de carbono permite reducir el consumo energético en hasta un 25%. Además, es posible aumentar la temperatura a 10°C/s sin que se produzcan desviaciones.
Las ventanas de cuarzo y los conectores estándar cumplen con las especificaciones de SEMI.
Por qué este sistema es útil en la planta de fabricación: En las áreas de fotolitografía, este control térmico mejora la distribución de la calidad de los productos y reduce la cantidad de trabajos de revisión. En las líneas de empaquetado, stabilize el proceso de curado de los materiales y reduce los defectos derivados de la delaminación.
La fiabilidad del sistema es alta: el tiempo medio entre fallos supera las 10,000 horas, sin interrupciones en el funcionamiento durante meses seguidos. Esto permite una rápida puesta en marcha del sistema, menos desperdicios y un gasto predecible en energía, sin tener que modificar los procesos existentes.
Qué hay que planificar: Para instalar el sistema, se necesita un circuito eléctrico dedicado de 24 VDC, además de un sistema de extracción de aire adecuado para entornos de sala limpia. Se necesita aproximadamente 24 horas para configurar el sistema y lograr una distribución térmica uniforme en todos los productos.
El sistema cumple con las especificaciones de SEMI. Pero si se integra con controladores antiguos, podría ser necesario realizar actualizaciones en su programación. Nosotros proporcionamos las especificaciones de interfaz y asistencia técnica in situ, de modo que el cambio sea sencillo y no cause interrupciones.