¿Por qué dejamos de usar aire caliente en favor de lámparas infrarrojas sin óxido?
Seamos honestos: depender del aire caliente para el procesamiento de semiconductores es una forma lenta y eficiente. Básicamente, se calienta el aire, con la esperanza de que este, a su vez, caliente el componente a tratar. Es un proceso intermedio que desperdicia mucho tiempo.
Al pasar a utilizar lámparas infrarrojas sin óxido, todo cambia. En lugar de esperar a que el aire caliente el componente, se utiliza radiación. La energía llega directamente al sustrato, sin necesidad de intermediarios. Solo calor.
Los problemas relacionados con la convección
Si ya has trabajado con sistemas de aire caliente, sabes bien cuánto tiempo lleva calentarse el ambiente. Además, hay un retraso térmico que resulta frustrante. Y ni hablemos de la geometría del componente: si cambias su forma, tendrás que pasar horas recalibrando el flujo de aire.
Nuestras lámparas infrarrojas eliminan estos problemas. Utilizamos una mezcla específica de cuarzo y emisores filtrados para bloquear la longitud de onda de 185 nm. ¿Por qué? Porque esa es la longitud de onda que convierte el oxígeno en óxido. En una sala limpia, el óxido es un desastre: contamina todo y daña las obleas sensibles. Al bloquearlo, mantenemos el proceso limpio.
¿Qué beneficios ofrece esto para tu flujo de trabajo?
La calefacción por infrarrojos permite actuar con precisión. Puedes calentar solo una zona específica de la oblea, sin tener que calentar toda la cámara. Es muy rápido.
Según nuestra experiencia, al usar lámparas infrarrojas, se pueden reducir los tiempos de curado entre un 40% y un 70%. Obtienes una alta densidad de calor justo donde lo necesitas, y puedes ajustar la temperatura en muy poco tiempo.
El “problema” (porque siempre hay uno)
No puedes simplemente colocar una lámpara infrarroja en un horno antiguo de convección y listo. La luz infrarroja necesita una línea de visión clara. Si el componente tiene surcos profundos o una forma 3D compleja, habrá zonas que no se calentarán. Para solucionarlo, necesitarás un conjunto de lámparas o reflectores para dirigir la energía hacia esas zonas.
Otra cosa: como la transferencia de calor ocurre muy rápidamente, tus controladores deben ser capaces de adaptarse rápidamente. Si utilizas circuitos PID lentos, podrías superar la temperatura deseada y dañar el sustrato. Necesitas un sistema que pueda reaccionar tan rápido como las lámparas.