جلوگیری از پدیده شرپنل: حفظ تمیزی کارخانه در صورت خرابی لامپهای مادون قرمز
بیایید صادق باشیم؛ در یک کارخانه تولید نیمههادی، خرابی لامپ فقط یک مشکل فنی ساده نیست، بلکه یک فاجعه است.
در یک لحظه همه چیز درست است، اما در لحظه بعد، تکههای کوارتز و ذرات فلزی روی ویفرها میافتند. این وضعیت منجر به توقف تولید میشود؛ همچنین نیاز به تمیزکاری گسترده وجود دارد، و محصولات تولید شده نیز بیفایده خواهند بود.
وقتی که تولید در حالت بالا انجام میشود، لامپهای مادون قرمز تحت فشار زیادی قرار میگیرند. ما لامپهایی را طراحی کردهایم که بتوانند این فشارها را تحمل کنند؛ تا شما نگران تبدیل شدن کارخانه به یک منطقه فاجعهبار نباشید.
مشکل شوک حرارتی
لولههای کوارتزی با توان بالا، در محیطی با تغییرات شدید دما قرار دارند. اگر لامپ خیلی سریع سرد شود یا در یک نقطه خاص دمای بالایی داشته باشد، کوارتز میتواند بشکند. این همان نقطهای است که همه چیز از کنترل خارج میشود.
برای رفع این مشکل، از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار باعث افزایش نقطه نرم شدن کوارتز و افزایش مقاومت آن در برابر شوک حرارتی میشود. در واقع، لامپ میتواند تغییرات دمایی سریع را تحمل کند، بدون اینکه بشکند.
استفاده از سیستمهای ایمنی
ما فقط به محکم بودن شیشهها اتکا نمیکنیم؛ بلکه از سیستمهای دولایه برای جلوگیری از آلودگی استفاده میکنیم.
عناصر گرمایشی را در یک پوشش شیمیایی غیرفعال قرار میدهیم؛ این پوشش میتواند گرما را تحمل کند. اگر لوله کوارتزی داخلی خراب شود، این پوشش تکههای شکسته را جذب میکند؛ در نتیجه، گرد و غبار شیشهای روی ویفرها نمیافتد.
یک نکته مهم: لطفاً براکتهای نصب لامپها را بررسی کنید؛ اگر شل باشند، لامپها تکان میخورند و این تکانها باعث شکست لامپها میشود. براکتها را محکم نگه دارید.
تعادل بین توان و سیستمهای خنککننده
ما این لامپها را برای محیطهایی با چگالی حرارتی بالا طراحی کردهایم؛ زیرا میدانیم که نیاز به حفظ سرعت تولید وجود دارد. اما یک مشکل وجود دارد: وقتی که توان بیشتری به یک فضای کوچک داده میشود، سیستمهای مهر و موم کردن لامپها تحت فشار زیادی قرار میگیرند. ما از سیستمهای مهر و موم قوی برای جلوگیری از نشت گاز استفاده میکنیم.
فقط به یاد داشته باشید: اگر این لامپها را در حداکثر توان خود کار کنید، سیستمهای تخلیه گرما و خنککننده باید قادر به انجام کار خود باشند. اگر گرما جایی برای رفتن نداشته باشد، لامپها نخواهند توانست مدت زیادی کار کنند.