در خطوط تولید، نوسانات دمایی تنها پارامترهایی نیستند که باید زیر نظر داشت؛ بلکه منجر به افت بازدهی تولید میشوند. حتی تغییر دمای ۰.۵ درجه سانتیگراد در فرآیند پخت نرم فوتورزیست، میتواند باعث اختلال در ابعاد مهم قطعات شود. اگر رزینهای حلکننده در لایه فوتورزیست باقی بمانند، منجر به ایجاد نقصهای سطحی میشود؛ که در نهایت منجر به افزایش مقدار مواد بیفایده تولید شده میشود.
ما خطوط گرمایشی مورد استفاده در تولید ویفرها را طوری طراحی کردهایم که این مشکلات را از بین ببرند؛ یعنی در همان مراحلی که دما نقش مهمی در شکلدهی و تمیزکردن ویفرها دارد.
چه چیزهایی واقعاً اهمیت دارند؟ ما از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج برای انتقال انرژی حرارتی مستقیماً به ویفر استفاده میکنیم؛ این روش سریع، مستقیم و قابل تکرار است. در تمام محدودههای دمایی – ۶۰ درجه سانتیگراد برای پخت نرم، ۱۲۰ درجه سانتیگراد برای پخت سخت، و بالاتر از آن – یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند.
کنترل چندمنطقهای و خودکار، باعث میشود که این یکنواختی حفظ شود؛ همچنین این سیستم میتواند تأثیرات ناشی از پیری فرستندهها و نوسانات ولتاژ را جبران کند. این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک، در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰، مناسب است؛ همچنین در طول فرآیندهای حرارتی، هیچ ذرهای تولید نمیشود که بتواند باعث اختلالات الکتریکی شود.
چرا این سیستم در فرآیندهای لیتوگرافی و تمیزکردن مؤثر است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، پخت نرم یکنواخت، باعث ثبات لایه فوتورزیست میشود؛ این امر باعث کنترل بهتر ابعاد قطعات و کاهش تعداد محصولات نیازمند تعمیر میشود.
در فرآیند خشک کردن ویفرها، همین سیستم حرارتی، رزینهای حلکننده را از روی سطح ویفر برمیدارد، بدون اینکه باعث ایجاد نقصهای سطحی شود؛ بنابراین هیچ اثری از آب روی سطح ویفر باقی نمیماند که بتواند باعث اختلالات الکتریکی شود.
سرعت بالای این سیستم، باعث کاهش زمان فرآیند میشود؛ همچنین بازیابی انرژی، مصرف انرژی را کاهش میدهد. این سیستم برای عملکرد ۲۴/۷ طراحی شده است؛ بنابراین بازدهی تولید ثابت میماند و برنامههای تعمیراتی نیز قابل پیشبینی خواهد بود.
جزئیاتی که از بروز مشکلات جلوگیری میکنند: استفاده از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج، نیازمند مدیریت دقیق بودجه حرارتی در لایههای حساس به دما است. ما کتابخانههای دستورالعملهای مربوط به این فرستندهها را در اختیار شما قرار میدهیم؛ همچنین تیم کاربردی ما، زمان تابش و پروفایلهای دمایی را با شما تنظیم میکند.
برای نصب این سیستم، به یک خط برق ۲۴۰ ولتی نیاز است؛ همچنین باید مسیر تخلیه هوا نیز به گونهای باشد که فشار هوا در اتاق پاک حفظ شود. با سازگار کردن این سیستم با فرآیندهای تولید، حرارت دیگر یک ریسک نخواهد بود، بلکه به یک منبع کنترلشده تبدیل خواهد شد.