جلوگیری از نشت گرما در بستهبندی سنسورهای هوشمند
اگر تا به حال وقت خود را صرف گرم کردن ویفرهای مورد استفاده در بستهبندی سنسورهای هوشمند کرده باشید، قطعاً از این مشکل آگاهید. شما انرژی لازم را وارد سیستم میکنید، اما به نظر میرسد که نیمی از آن انرژی هدر میرود. رزولورهای استاندارد در این زمینه مشکلات زیادی دارند؛ آنها انرژی را از بین میبرند یا مناطق سردی ایجاد میکنند که باعث اختلال در کارکرد سیستم میشود.
ما راه بهتری پیدا کردیم. به جای مقابله با این مشکلات، از روکشهای طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم تا تشعشعات مادون قرمز را دقیقاً به جایی که نیاز است، یعنی روی ویفر، هدایت کنیم.
چرا طلا؟
دلیلش ظاهر زیبا نیست؛ بلکه مربوط به قوانین فیزیک است. در طیف مادون قرمز، طلا بهترین رزولور ممکن است.
فکر کنید به آلومینیوم یا فولاد ضدزنگ؛ آنها بخش زیادی از گرما را جذب میکنند. اما طلا چنین کاری نمیکند؛ تقریباً تمام انرژی را به سمت هدف برمیگرداند. این کار باعث ایجاد یک ناحیه گرمایی متمرکز میشود. بهترین نکته این است که میتوانید بدون نیاز به افزایش توان لامپها، گرمای بیشتری ایجاد کنید.
حفظ گرما در جای مناسب
ما این روکشها را طوری طراحی کردهایم که از پراکندگی انرژی جلوگیری کنند. وقتی تشعشعات وارد بدنه دستگاه میشوند، باعث گرم شدن فضای کاری میشوند. با افزایش رزولوسیون در منبع انرژی، میتوانیم دمای محیط را کنترل کنیم و انرژی را روی سیلیکون متمرکز کنیم.
اما مشکل اینجاست: هرچه توان بیشتری وجود داشته باشد، یادگیری آن نیز سختتر خواهد بود. چون گرما بسیار متمرکز است، باید مراقب بود. اگر ویفر کاملاً صاف نباشد یا فاصله لامپها کمی نامناسب باشد، مناطق گرم ایجاد خواهد شد. باید ارتفاع محور Z را به درستی تنظیم کرد؛ اگر فاصله خیلی کم باشد، سطح ویفر خراب خواهد شد. اگر فاصله خیلی زیاد باشد، دوباره به نقطه شروع برمیگردیم و نقطه تمرکز گرما از بین میرود.
تأثیر این روش بر خط تولید
در دنیای واقعی، این روش باعث میشود زمان لازم برای گرم شدن ویفرها به طور چشمگیری کاهش یابد. دیگر نیازی نیست منتظر بمانید تا ویفر به دمای مناسب برسد.
این روش راه سادهای برای تولید تعداد بیشتری ویفر است؛ بدون نیاز به تغییر سیستماتیک تأمین انرژی یا سیمکشیها. این روش واقعاً مؤثرتر است.