Sur une ligne de 300 mm, une seule marque d’eau après nettoyage suffit à compromettre un lot entier. Nous avons conçu la lampe de séchage à eau déionisée pour éliminer ce mode de défaillance, vous offrant une évaporation contrôlée sans résidu de film ni excursions de particules.
Ce qui importe, techniquement
La lampe intègre des émetteurs infrarouges à ondes courtes dans un boîtier scellé, compatible avec les salles blanches. Elle chauffe directement la surface de la plaquette, ce qui vous permet de contourner le retard associé à la convection. L’uniformité de température sur la plaquette est maintenue à ±0,1 °C, et la répétabilité du point de consigne se situe à ±0,2 °C sur plus de 10 000 cycles de cuisson.
Le passage du démarrage à un profil de cuisson stable se fait en moins de 30 secondes, et elle fonctionne avec une génération de particules nulle, vérifiée par rapport aux références ISO Classe 1–100. Le système est conçu pour un fonctionnement continu 24/7, avec un retour thermique prédictif qui maintient le dérive de sortie sous 5 % sur 5 000 heures.
Pourquoi cela fonctionne dans les étapes de processus réelles
Dans les étapes de séchage post-nettoyage et de cuisson du photoresist, la lampe protège votre budget thermique en évitant les dépassements — des dépassements qui peuvent entraîner un amincissement de TTOP ou des décalages de profil de pied. Vous obtenez un meilleur contrôle CD et moins de reprises tant pour la cuisson douce que pour la cuisson dure, tout en réduisant la consommation d’énergie par rapport à l’utilisation de plaques de cuisson à chambre pleine.
Vous bénéficiez d’un meilleur débit avec une fenêtre de processus plus large, et vous cessez de jeter des lots à cause de marques d’eau résiduelles.
Ce que vous devez planifier
La lampe nécessite un montage de qualité salle blanche et une alimentation électrique filtrée dédiée pour maintenir la stabilité thermique là où elle doit être. Elle est optimisée pour des plaquettes de 150/200/300 mm.
Des kits de rétrofit couvrent la plupart des plateformes de piste, mais si vous vous connectez à des fours anciens, vous pourriez avoir besoin d’un dispositif personnalisé pour aligner le champ d’irradiation. Prévoyez un court essai de qualification pour verrouiller votre profil de cuisson et confirmer les performances des particules par rapport à votre référence.