Dans les usines de fabrication, le rythme de travail 24/7 ne permet pas d’ignorer les fluctuations thermiques. Un chauffage doux à 95 °C, ou un chauffage intensif à 110 °C : ces températures déterminent le contrôle de la largeur des lignes et le nombre acceptable de défauts. Si l’uniformité dépasse ±0,5 °C, cela entraîne des problèmes liés à la qualité des produits finis.
Nous avons conçu notre système thermique pour répondre aux exigences réelles des équipements de semi-conducteurs : il est compatible avec les systèmes de séchage utilisés en photolithographie, ainsi qu’avec les outils de conditionnement avancés. Il a été entièrement testé pour garantir sa fiabilité.
Ce qui est important sur le plan technique Nos chauffages sans halogène, adaptés pour l’utilisation dans la région infrarouge, permettent de maintenir une uniformité au niveau de la wafer de ±0,1 °C, même sur des substrats de 150 mm ou 200 mm. La précision de réglage est supérieure à ±0,05 °C. La structure du système est adaptée aux conditions propres aux salles propres de classe 1–100. De plus, aucun particule de plus de 0,1 μm n’est produite lorsque le système est en état stable. L’isolation en fibres de carbone permet de réduire la consommation d’énergie de jusqu’à 25 %. Il est possible d’augmenter la température à 10 °C/seconde sans risque de dépassement des limites autorisées.
Les fenêtres en quartz et les connecteurs standards correspondent aux spécifications SEMI.
Pourquoi c’est utile dans les usines de fabrication Dans les zones de photolithographie, ce contrôle thermique permet de mieux réguler la distribution des dimensions des produits finis, ce qui réduit le nombre de produits à retraiter. Dans les lignes de conditionnement, il permet de stabiliser les conditions thermiques nécessaires pour le durcissement des moules et pour le remplissage des espaces vides entre les composants. Cela réduit le nombre de défauts et les risques de décollage des composants.
La fiabilité du système est garantie par une durée de fonctionnement supérieure à 10 000 heures, sans aucune panne imprévue pendant des périodes prolongées. Vous bénéficiez ainsi d’un temps de mise en service plus court, d’une moindre quantité de déchets, et d’une consommation d’énergie prévisible – sans avoir à modifier vos procédures existantes.
Ce que vous devez planifier L’installation nécessite un circuit électrique dédié de 24 VDC, ainsi qu’un système de ventilation adapté aux salles propres. Il faut prévoir environ 24 heures pour mettre en place et ajuster les paramètres thermiques pour tous les produits fabriqués.
Le système répond aux normes SEMI. Cependant, si vous intégrez ce système avec des contrôleurs existants, vous devrez peut-être mettre à jour les paramètres de connexion. Nous fournissons les spécifications d’interface ainsi que des services de mise en service sur site, afin que la transition soit fluide et sans perturbations.