Sur le poste de lithographie, il suffit d’une légère variation de 0,5 degré dans la température de séchage du photo-résiste pour que les largesurs de ligne censées être contrôlées deviennent imprévisibles. On ne peut pas garantir un taux de productivité correct avec des valeurs de référence qui varient constamment. C’est pourquoi nous avons développé des modules de chauffage infrarouge qui permettent de maintenir le comportement thermique dans les limites prévues, étape après étape.
Ce qui est important sur le plan technique Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes, équipés de filaments à réponse rapide. Cela permet une montée en température rapide et un état stationnaire stable. Sur toute la surface de la plaque de chauffage, l’uniformité de température reste à ±0,1 °C, tandis que la reproductibilité entre différentes séries est de ±0,2 °C. La régulation se fait grâce à une pyrométrie en boucle fermée et à un système PID, ce qui permet des corrections en quelques fractions de seconde. Ainsi, la température ne varie pas lorsque la porte s’ouvre. Les modules fonctionnent dans des salles propres de classe 1–100, et l’assemblage en quartz/céramique est conçu pour ne pas produire de particules – pas de dégazage, pas de fissuration, pas de contamination.
Pourquoi cela fonctionne bien dans le traitement du photo-résiste Le séchage doux et le séchage dur permettent respectivement l’élimination des solvants et le cross-linking du polymère. Notre système infrarouge réduit le temps de séchage tout en maintenant un contrôle précis des dimensions critiques. La réponse rapide des émetteurs signifie moins de chaleur inutile, ce qui diminue la consommation d’énergie sans affecter la productivité.
La fiabilité se traduit par un temps de fonctionnement élevé : les modules ont fonctionné plus de 5 000 heures avec moins de 5 % de variation de performance. Les modules de remplacement sont conçus pour s’adapter aux dimensions des outils standards, afin que la production puisse continuer sans interruption.
Ce qu’il convient de garder à l’esprit Pour obtenir des performances optimales, il est nécessaire d’adapter le spectre des émetteurs à l’absorption du photo-résiste utilisé, ainsi que de bien adapter le montage aux interfaces mécaniques et de refroidissement de l’outil. Il est également important de réaliser une série de tests initiaux pour ajuster le système PID et vérifier l’uniformité de la température sur votre substrat spécifique. Une fois cela fait, le comportement thermique restera dans les limites prévues – pas seulement sur le papier.