Pourquoi nous passons à la polymérisation par rayonnement infrarouge pour les wafers
Parlons du vieux procédé utilisé jusqu’à présent. Pendant des années, nous avons compté sur des fours à convection et des produits chimiques agressifs pour sécher les wafers. Cela fonctionnait, certes, mais c’était inefficace.
Aujourd’hui, être « écologique » ou « sans plomb » n’est plus simplement une exigence réglementaire. Il s’agit plutôt d’éliminer ces composés organiques volatils toxiques et de réduire l’empreinte carbone dans la salle propre. C’est logique.
Comment fonctionne le rayonnement infrarouge
Pensez à un four à convection : on chauffe l’air, puis on attend que cet air chauffe le wafer. C’est lent et gaspilleur.
Les lampes infrarouges, en revanche, utilisent des rayonnements électromagnétiques pour chauffer directement la surface du wafer. Pas besoin de chauffer toute une boîte métallique ni l’air qui l’entoure.
Le résultat ? Le processus de polymérisation se fait presque instantanément. La productivité augmente, et la facture d’électricité diminue. C’est gagnant-gagnant.
Obtenir de bons résultats sans produits toxiques
Avec les méthodes traditionnelles, il fallait utiliser des solvants qui devaient être détruits par de hautes températures.
Avec le rayonnement infrarouge, nous pouvons ajuster la longueur d’onde. Nous pouvons cibler précisément les parties du photorésistant ou de l’adhésif qui nécessitent de la chaleur, sans endommager le substrat en silicium lui-même.
Comme c’est très précis, il n’y a pas de vapeurs toxiques libérées dans la pièce. De plus, cela permet d’éviter l’utilisation de stabilisateurs à base de plomb dans les agents de polymérisation. C’est une manière plus propre de travailler.
Les compromis (car rien n’est parfait)
Voici le problème : les systèmes à rayonnement infrarouge à haute intensité génèrent beaucoup de chaleur dans un espace très restreint.
Si la ventilation n’est pas adaptée, cela peut causer des problèmes. Le wafer peut se déformer, ou même les connecteurs des lampes peuvent fondre.
Il y a toujours un équilibre à trouver entre vitesse et uniformité. Si vous placez la lampe trop près du wafer, la polymérisation se fait plus rapidement. Mais vous risquez également de créer des zones chaudes. Il faut trouver le bon équilibre – une distance de sécurité précise – pour garantir une uniformité parfaite.
Nous avons conçu ces systèmes pour remplacer ces anciens fours énergivores. Vous gagnez ainsi de l’espace et économisez de l’argent. Simplement.