בחדרי הייצור, העבודה 24/7 אינה מאפשרת סטיות תרמיות. חימום בטמפרטורה של 95°C, וחימום אינטנסיבי יותר בטמפרטורה של 110°C – טמפרטורות אלו קובעות את רמת השליטה בעובי הקווים ואת כמות הפגמים שניתן לקבל. אם האחידות עולה על ±0.5°C, עלולים להופיע פגמים במוצרים.
עיצבנו את המערכת התרמית שלנו כך שתעמוד בדרישות האמיתיות של ציוד השבבים – היא מתאימה לשימוש בתהליכי פוטוליתוגרפיה ובכלים לאריזת שבבים, והיא כבר עברה בדיקות קפדניות.
מה חשוב מבחינה טכנית? החיממים שלנו, שאינם מכילים הלוגן, מאפשרים שמירה על אחידות ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C, גם על גבי חומרים בגודל 150 ממ ו-200 ממ. רמת הדיוק של הטמפרטורה היא ±0.05°C. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והיא לא יוצרת שום חלקיקים בגודל גדול יותר מ-0.1 μm. הבידוד באמצעות סיבי פחמן מפחית את צריכת האנרגיה ב-25%, וניתן לשנות את הטמפרטורה בקצב של 10°C/שנייה, מבלי לגרום לסטיות.
חלונות הקוורץ והחיבורים הסטנדרטיים של המערכת תואמים את המפרטים של SEMI.
למה זה חשוב בחדרי הייצור? בחדרי הפוטוליתוגרפיה, השליטה התרמית מסייעת לשמור על אחידות ברמת הקווים ומפחיתה את כמות העבודה הנדרשת לתיקון המוצרים. בקווי האריזה, השליטה התרמית מסייעת לשמור על יציבות הטמפרטורה במהלך תהליכי האריזה – כך יש פחות פגמים במוצרים.
האמינות של המערכת היא גבוהה – MTBF של למעלה מ-10,000 שעות, ללא עצירות בלתי צפויות במהלך תהליכי הייצור. כך ניתן להשיג תהליכי ייצור מהירים יותר, פחות פסולת, והוצאות צפויות – מבלי לשנות את התהליכים הקיימים.
מה צריך להתכנן? ההתקנה דורשת מקור חשמלי של 24 VDC, וכן מערכת ניקוז שתתאים לחדרי ייצור. יידרשו כ-24 שעות כדי להתאים את המערכת לצרכי המוצרים השונים.
המערכת עומדת בתקנים של SEMI, אך אם יש צורך לשלב אותה עם בקרים ישנים, ייתכן שיהיה צורך בעדכון של התקני הבקרה. אנו מספקים את המפרטים הדרושים ואת השירותים הנדרשים להתקנה, כך שהשינוי יהיה מדוד ולא מפריע לתהליכי הייצור.