במחלקת הייצור, שינויים תרמיים אינם רק פרמטר שצריך לעקוב אחריו – הם גורם ישיר לירידה באיכות המוצר. שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של השבב. אם נשארים חומרי מפחית בשכבה, נוצרים גושים בקצוות השבב – וזה אומר בזבוז של חומרים.
בנינו את מערכת החימום שלנו כך שהיא תמנע את אותם כשלים, בדיוק בשלבים שבהם החימום משפיע על תהליך העיצוב והניקוי של השבב.
מה באמת חשוב? אנו משתמשים בגלי אינפרא-אדום באורך גל קצר, כדי להעביר אנרגיה תרמית ישירות לשבב – במהירות, בצורה ישירה ובאופן חוזר. בכל הטווחים – 60°C לחימום קל, 120°C לחימום חזק – האחידות של הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.1°C.
שליטה בלולאה סגורה ובמספר אזורים שונים מאפשרת זאת, ומפצה על הזדקנות הגלאים ועל שינויים במתח החשמלי. המערכת מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, כאשר אין ייצור של חלקיקים במהלך תהליכי החימום – דבר שנבדק במקום.
למה זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה וניקוי? בליתוגרפיה, חימום עקבי שומר על יציבות שכבת הפוטורזיסט. זה מאפשר שליטה טובה יותר בממדים של השבב, וכך יש פחות צורך בעבודות תיקון.
לצורך ייבוש השבב, אותה מערכת תרמית מסייעת להסיר את חומרי המפחית, מבלי לגרום לפגמים במשטח השבב – ללא סימני מים שעלולים לגרום לבעיות חשמליות.
החימום המהיר והיעיל מקצר את זמן התהליך, וחיסכון באנרגיה מוריד את הצריכה. המערכת מיועדת לפעולה 24/7, ללא הפסקות בלתי צפויות, כך שאיכות המוצר נשארת יציבה ולוחות הזמנים של התחזוקה נשארים צפויים.
הפרטים שמונעים בעיות שימוש בגלי אינפרא-אדום באורך גל קצר דורש ניהול קפדני של האנרגיה התרמית בשבבים הרגישים לחום. אנו שולחים אוסף של נתונים המתאימים לשבבים השונים, וצוות היישום שלנו יכוון את זמן החשיפה ואת טמפרטורת החימום בהתאם לצרכים שלכם.
ההתקנה דורשת חיבור של חשמל במתח 240V, וכן מערכת לפינוי אוויר, כדי לשמור על הלחץ הנכון בחדר הניקיון. כך, המערכת תהיה מתאימה לתהליך שלכם, והחימום יהפוך לכלי שניתן לשלוט בו.