300mm लाइन पर, एक ही पानी का निशान सफाई के बाद पूरे बैच को क्षति पहुँचा सकता है। हमने Deionized Water Drying Lamp विकसित किया है ताकि इस विफलता मोड को समाप्त किया जा सके, जो आपको नियंत्रित वाष्पीकरण प्रदान करता है बिना किसी फिल्म अवशेष और कण विस्थापन के।
टेक्निकल रूप से क्या महत्वपूर्ण है
यह लैम्प शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर को सील्ड, क्लीनरूम-अनुकूल आवरण में संकुचित करता है। यह वॉफर सतह को सीधे गर्म करता है, जिससे आप कॉन्वेक्शन के कारण होने वाले विलंब से बच जाते हैं। वॉफर पर तापमान की समानता ±0.1°C तक नियंत्रित रहती है, और सेटपॉइंट पुनरावृत्ति 10,000+ बेक साइकिलों में ±0.2°C तक सीमित रहती है।
कोल्ड स्टार्ट से स्थिर बेक प्रोफाइल तक पहुंच 30 सेकंड से कम समय में होती है, और यह ISO Class 1–100 बेसलाइन के विरुद्ध शून्य कण जनरेशन के साथ चलता है। सिस्टम 24/7 ड्यूटी के लिए बनाया गया है, जिसमें प्रिडिक्टिव थर्मल फीडबैक होता है जो 5,000 घंटे में आउटपुट ड्रिफ्ट को 5% से कम रखता है।
यह वास्तविक प्रक्रिया चरणों में क्यों काम करता है
पोस्ट-क्लीन ड्राइंग और फोटोरेजिस्टर बेक चरणों में, यह लैम्प आपके थर्मल बजट की रक्षा करता है ओवरशूट से बचकर—ऐसा ओवरशूट जो TTOP थिनिंग या फुट प्रोफाइल शिफ्ट्स को बढ़ावा दे सकता है। इससे आप सिरामिक बेक और हार्ड बेक दोनों में CD नियंत्रण में सुधार और रिवर्क की संख्या में कमी प्राप्त करते हैं, जबकि पूरे चेम्बर बेक प्लेट चलाने की तुलना में ऊर्जा की खपत कम होती है।
आप अधिक थ्रूपुट प्राप्त करते हैं साथ ही विस्तार प्रक्रिया विंडो के साथ, और बचते हैं उन बैचों को फेंकने से जो पानी के अवशेष निशानों के कारण खराब हो जाते हैं।
आपको किन बातों की योजना बनानी चाहिए
इस लैम्प को क्लीनरूम-ग्रेड माउंटिंग और समर्पित, फ़िल्टर किए गए पावर फीड की आवश्यकता होती है ताकि थर्मल स्थिरता आवश्यक स्तर पर बनी रहे। यह 150/200/300mm वॉफर के लिए अनुकूलित है।
रेट्रोफिट किट अधिकांश ट्रैक प्लेटफॉर्म को कवर करते हैं, लेकिन यदि आप पुराने ओवन से जोड़ रहे हैं तो विकिरण क्षेत्र को संरेखित करने के लिए एक कस्टम फिक्स्चर की आवश्यकता हो सकती है। अपनी बेक प्रोफाइल को लॉक करने और कण प्रदर्शन को आपकी बेसलाइन के विरुद्ध पुष्टि करने के लिए एक संक्षिप्त क्वालिफिकेशन रन की योजना बनाएं।