फैब्रिकेशन लाइनों पर, 24/7 कार्य-प्रक्रिया के दौरान तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव को बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। 95°C पर “सॉफ्ट बेक” एवं 110°C पर “हार्ड बेक” किया जाता है; ये तापमान ही वाइंडलाइन के नियंत्रण एवं दोषों को कम करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। यदि तापमान में ±0.5°C से अधिक उतार-चढ़ाव हो जाए, तो उत्पादों में दोष पैदा हो जाते हैं।
हमने अपने थर्मल कोर को सेमीकंडक्टर उपकरणों की वास्तविक आवश्यकताओं के अनुरूप डिज़ाइन किया है; यह फोटोलिथोग्राफी उपकरणों एवं उन्नत पैकेजिंग उपकरणों के लिए उपयुक्त है, एवं इसकी वैधता पूरी तरह से सिद्ध हो चुकी है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हमारे हेलोजन-रहित हीटर, NIR तरंगदैर्घ्य के लिए अनुकूलित हैं; ये 150 मिमी एवं 200 मिमी आकार के सब्सट्रेटों पर वाइडलाइन को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखते हैं, एवं सेटपॉइंट की पुनरावृत्ति ±0.05°C के भीतर ही होती है।
यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए उपयुक्त है; स्थिर अवस्था में इससे 0.1 माइक्रोमीटर से बड़े कण भी नहीं निकलते। कार्बन-फाइबर इन्सुलेशन के कारण ऊर्जा की खपत 25% तक कम हो जाती है, एवं 10°C/सेकंड की दर से तापमान बदला जा सकता है, बिना किसी समस्या के।
क्वार्ट्ज विंडोज़ एवं मानक कनेक्टर, SEMI मानकों के अनुरूप हैं।
फैब्रिकेशन लाइनों में इसका उपयोग
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, ऐसा थर्मल नियंत्रण CD वितरण को बेहतर बनाता है, एवं पुनर-कार्य की आवश्यकता को कम करता है। पैकेजिंग प्रक्रिया में, यह मोल्ड क्यूरिंग एवं अंडरफिलिंग प्रक्रियाओं में थर्मल संतुलन बनाए रखने में मदद करता है; इससे खाली जगहें कम हो जाती हैं, एवं उत्पादों में दोष कम हो जाते हैं।
इस सिस्टम की विश्वसनीयता 10,000 घंटों से अधिक है; कई महीनों तक चलने वाली प्रक्रियाओं में कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती। इससे उत्पादन प्रक्रिया तेज़ हो जाती है, अपशिष्ट कम हो जाता है, एवं ऊर्जा खर्च भी नियंत्रित रहता है… बिना मौजूदा प्रक्रियाओं में कोई बदलाव किए।
योजना बनाते समय ध्यान रखने योग्य बातें
सिस्टम को स्थापित करने हेतु 24 VDC वाला क्लास 2 पावर सर्किट आवश्यक है; साथ ही थर्मल मॉड्यूल के लिए क्लीनरूम-अनुकूल वेंटिलेशन सिस्टम भी आवश्यक है। उत्पादों के लिए थर्मल प्रोफाइलों को तैयार करने में लगभग 24 घंटे लगते हैं।
यह सिस्टम SEMI मानकों के अनुरूप है; लेकिन यदि आप पुराने कंट्रोलरों के साथ इसे इंटीग्रेट कर रहे हैं, तो PLC मैपिंग में बदलाव आवश्यक हो सकता है। हम इंटरफेस संबंधी विवरण एवं ऑन-साइट कमिशनिंग सेवाएँ भी प्रदान करते हैं… ताकि बदलाव बिना किसी व्यवधान के ही हो सके।