लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में सिर्फ आधा डिग्री का अंतर ही नियंत्रित रेखाओं को अनियंत्रित करने हेतु पर्याप्त है। ऐसी स्थिति में उत्पादन दर को नियंत्रित रखना संभव नहीं है। इसलिए हमने इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल विकसित किए, जो प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित रखते हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हम तेज प्रतिक्रिया वाले फिलामेंट वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे तापमान तेजी से बढ़ता है एवं स्थिर अवस्था बनी रहती है। हॉटप्लेट पर वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, जबकि विभिन्न बैचों के बीच यह मान ±0.2°C ही होता है। क्लोज्ड-लूप पायरोमेट्री एवं PID तकनीकों के द्वारा तापमान को नियंत्रित किया जाता है; इससे दरवाजा खुलने पर भी तापमान में कोई बदलाव नहीं होता। ये मॉड्यूल क्लास 1-100 के क्लीनरूमों में ही काम करते हैं, एवं क्वार्ट्ज/सिरेमिक सामग्री का उपयोग करके ऐसी संरचनाएँ बनाई गई हैं जिनसे कोई कण न निकले – न तो कोई गैस, न ही कोई दूषण।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में इसकी उपयोगिता:
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में विलायकों को हटाने एवं पॉलिमरों को आपस में जोड़ने की प्रक्रिया होती है। हमारे इन्फ्रारेड एमिटरों के कारण बेकिंग समय कम हो जाता है, जबकि महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण बना रहता है। तेज प्रतिक्रिया के कारण अतिरिक्त ऊर्जा की आवश्यकता नहीं पड़ती, इससे ऊर्जा की खपत कम हो जाती है।
विश्वसनीयता:
ये मॉड्यूल 5,000+ घंटों तक काम कर सकते हैं, एवं इनके कारण उत्पादन दर में 5% से भी कम की कमी होती है। इन मॉड्यूलों को मानक उपकरणों के साथ ही विनिमय किया जा सकता है, इससे प्रक्रिया निरंतर जारी रहती है।
ध्यान रखने योग्य बातें:
शीर्ष प्रदर्शन हेतु, एमिटर के स्पेक्ट्रम को फोटोरेजिस्ट की विशेषताओं के अनुरूप रखना आवश्यक है। साथ ही, इन मॉड्यूलों को उपकरणों के यांत्रिक/शीतलन संरचनाओं के अनुरूप ही लगाना आवश्यक है। PID तकनीक को ठीक से समायोजित करने हेतु एक छोटा सा परीक्षण आवश्यक है। एक बार ऐसा करने के बाद, तापमान नियंत्रण में रहता है – न कि केवल चार्ट पर ही।