Di fasilitas produksi, ritme kerja yang berlangsung 24/7 tidak memungkinkan adanya penyimpangan suhu yang signifikan. Proses pemanasan pada suhu 95°C digunakan untuk proses penyetelan ketebalan garis, sedangkan proses pemanasan pada suhu 110°C digunakan untuk mengontrol kualitas produk. Jika tingkat keseragaman suhu melebihi ±0,5°C, maka akan terjadi peningkatan risiko cacat pada produk.
Kami merancang komponen termal ini sesuai dengan kebutuhan peralatan semikonduktor yang sebenarnya—dapat digunakan sebagai pengganti komponen pemanas dalam proses fotolitografi dan alat-alat pengemasan canggih. Komponen ini telah divalidasi secara menyeluruh.
Yang penting secara teknis: Pemanas tanpa halogen yang digunakan memiliki kemampuan untuk menjaga keseragaman suhu hingga ±0,1°C pada substrat berukuran 150 mm dan 200 mm. Tingkat repetibilitas pengaturan suhu mencapai ±0,05°C. Arsitektur sistem ini cocok untuk ruang bersih kelas 1–100, dan tidak akan menghasilkan partikel berukuran lebih dari 0,1 μm setelah sistem berada dalam kondisi stabil. Insulasi berbahan serat karbon dapat mengurangi konsumsi energi hingga 25%. Sistem ini juga dapat menyesuaikan suhu sebesar 10°C/detik tanpa menyebabkan penyimpangan suhu yang berlebihan.
Jendela kaca kuarsa dan koneksi standar yang digunakan sesuai dengan spesifikasi SEMI.
Mengapa sistem ini cocok digunakan di fasilitas produksi: Di area fotolitografi, kontrol suhu yang ketat membantu mengurangi variasi ketebalan garis pada permukaan wafer, sehingga mengurangi jumlah barang yang perlu diperbaiki. Di jalur pengemasan, sistem ini membantu menstabilkan suhu yang diperlukan untuk proses pengerasan bahan dan pengisian rongga di antara komponen-komponen yang digunakan. Dengan demikian, jumlah cacat pun berkurang.
Keandalan sistem ini ditunjukkan oleh masa pakai yang mencapai lebih dari 10.000 jam, tanpa adanya waktu henti yang tidak terduga selama proses produksi berlangsung. Anda akan mendapatkan hasil yang lebih cepat, limbah yang lebih sedikit, dan biaya operasional yang lebih terprediksi—tanpa perlu mengubah resep proses produksi yang sudah ada.
Apa yang perlu dipersiapkan: Untuk pemasangan, diperlukan sumber daya listrik 24 VDC khusus, serta saluran pembuangan udara yang sesuai dengan standar ruang bersih. Diperkirakan dibutuhkan waktu sekitar 24 jam untuk menyesuaikan profil suhu pada berbagai jenis produk yang diproduksi.
Sistem ini memenuhi standar SEMI. Namun, jika Anda ingin mengintegrasikannya dengan kontroler lama, mungkin diperlukan pembaruan spesifikasi konektornya. Kami menyediakan spesifikasi antarmuka dan layanan pemasangan di lokasi, sehingga proses transisi berjalan lancar tanpa gangguan.