Mengapa kita beralih dari penggunaan udara panas ke teknologi IR tanpa ozon
Sejujurnya, menggunakan udara panas dalam proses pengolahan semikonduktor merupakan cara yang lambat sekali. Anda hanya perlu memanaskan udara, dengan harapan udara tersebut akan memanaskan komponen yang akan diproses. Ini merupakan proses yang membuang-buang banyak waktu.
Dengan beralih ke lampu IR tanpa ozon, segalanya berubah. Alih-alih menunggu udara panas, kita menggunakan radiasi suhu untuk memanaskan komponen tersebut. Energi tersebut langsung mengenai permukaan komponen, tanpa perlu melalui “perantara”.
Masalah yang ditimbulkan oleh sistem konveksi
Jika Anda pernah menggunakan sistem udara panas, Anda pasti tahu betapa menyebalkannya proses pemanasan tersebut. Waktu pemanasan yang diperlukan sangat lama, dan adanya keterlambatan dalam proses pemanasan juga menjadi masalah besar. Belum lagi masalah bentuk komponen yang berbeda-beda; jika bentuk komponen berubah, Anda harus menghabiskan waktu berjam-jam untuk menyetel ulang arus udara.
Lampu IR milik kami menghilangkan masalah-masalah tersebut. Kami menggunakan campuran kuarsa khusus dan pembawa radiasi yang telah difilter untuk menahan gelombang panjang 185 nm. Mengapa? Karena gelombang panjang tersebutlah yang mengubah oksigen menjadi ozon. Di ruang bersih, ozon merupakan bencana—ia dapat mencemari segala sesuatu dan merusak wafer yang sensitif. Dengan menahan gelombang panjang tersebut, prosesnya tetap bersih.
Manfaatnya bagi proses kerja Anda
Pemanasan menggunakan IR memungkinkan Anda untuk memanaskan bagian tertentu pada wafer tanpa perlu memanaskan seluruh ruangan. Prosesnya cepat sekali. Berdasarkan pengalaman kami, penggunaan IR dapat mengurangi waktu pemanasan sebesar 40% hingga 70%. Anda akan mendapatkan intensitas panas yang tinggi di titik yang dibutuhkan, dan Anda juga dapat meningkatkan atau menurunkan suhu dalam waktu yang singkat.
Kelemahannya (karena selalu ada kelemahan)
Anda tidak bisa begitu saja memasukkan lampu IR ke dalam oven konveksi lama dan menganggapnya sudah cukup. IR membutuhkan pandangan lurus agar bisa memanaskan objek. Jika komponen memiliki alur-alur dalam atau bentuk 3D yang rumit, maka akan terjadi masalah “bayangan”. Pada dasarnya, jika cahaya tidak bisa mencapai bagian tersebut, maka bagian tersebut tidak akan dipanaskan. Untuk mengatasi hal ini, Anda memerlukan array lampu atau reflektor untuk memantulkan energi ke bagian-bagian yang sulit dipanaskan.
Satu hal lagi: karena proses transfer panas berlangsung sangat cepat, kontroler yang digunakan harus mampu bereaksi secepat lampu tersebut. Jika Anda menggunakan sistem kontrol PID yang lambat, suhu yang dihasilkan akan melebihi batas yang ditentukan, sehingga komponen akan rusak. Anda membutuhkan sistem yang mampu bereaksi secepat lampu tersebut.