Berhentilah mengubah kereta pengangkut di ruang bersih menjadi alat pemanas.
Saat memindahkan wafer semikonduktor, penting sekali untuk menjaga suhu wafer tersebut pada tingkat yang tepat. Untuk waktu yang lama, cara yang digunakan adalah dengan menggunakan pemanas konveksi. Masalahnya? Pemanas ini akan memanaskan segala sesuatu di sekitarnya. Akibatnya, kereta pengangkut tersebut berfungsi seperti radiator raksasa, dan para operator berisiko terbakar hanya karena menyentuh dinding bagian luarnya.
Kondisi ini sangat kacau. Oleh karena itu, kami memutuskan untuk berhenti menggunakan pemanas konveksi dan beralih ke penggunaan pemanas inframerah yang bersifat terarah.
Cara kerjanya:
Bayangkan saja ini seperti senter, tetapi yang menghasilkan panas. Alih-alih memanaskan seluruh udara di dalam kotak, lampu inframerah memancarkan radiasi elektromagnetik secara lurus. Energi tersebut baru akan berubah menjadi panas ketika mengenai target yang dituju. Dengan menempatkan lampu pada posisi yang tepat dan menggunakan reflektor, kita dapat mengarahkan panas tersebut langsung ke wafer yang perlu dipanaskan. Dinding bagian dalam tidak akan menyerap energi yang sia-sia, sehingga bodi kereta pengangkut tetap dingin saat disentuh. Panas akan sampai tepat ke tempat yang dibutuhkan oleh wafer, dan tidak ke tempat lainnya.
Kekurangan-kekurangannya (karena tidak ada yang sempurna):
Kami biasanya menggunakan lampu kuarsa berpanjang gelombang pendek. Lampu ini bagus karena mampu mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat. Cukup hubungkan lampu tersebut ke sumber daya listrik kereta pengangkut, dan Anda akan mendapatkan kontrol suhu yang sangat baik. Namun, panas yang dihasilkan sangat intens. Jika reflektor tidak berada pada posisi yang tepat, atau jika kereta pengangkut digunakan tanpa membawa beban apa-apa, energi tersebut akan mengenai bagian dalam kereta pengangkut. Anda perlu memastikan bahwa lapisan pelindung di bagian dalam kereta pengangkut mampu menahan panas tersebut. Jika tidak, kereta pengangkut akan rusak.
Mengapa hal ini memudahkan segalanya?
Hal terbaiknya adalah kita tidak perlu lagi menggunakan bahan isolasi yang berat dan besar di bagian luar kereta pengangkut. Hal ini membuat ukuran kereta pengangkut lebih kecil, yang tentu sangat membantu aliran udara di ruang bersih. Selain itu, tim operasional juga tidak perlu khawatir akan terbakar saat menangani peralatan ini. Semua ini membuat proses pengoperasian menjadi lebih sederhana, dan Anda tidak perlu repot-repot menggunakan sistem HVAC untuk mendinginkan ruangan hanya karena memindahkan beberapa wafer saja.