Nelle linee di produzione, il ritmo di lavoro 24/7 non permette alcuna deviazione termica. Una temperatura di cottura dolce di 95°C e una temperatura di cottura intensiva di 110°C: queste temperature determinano il controllo della larghezza dei bordi dei componenti elettronici, nonché i limiti legati ai difetti che possono verificarsi. Se la uniformità termica supera i ±0,5°C, si rischia una diminuzione della qualità dei prodotti e l’insorgenza di difetti.
Abbiamo progettato il nostro sistema termico per soddisfare le esigenze reali delle apparecchiature per semiconduttori: è compatibile con i sistemi di cottura utilizzati nella fotolitografia e con gli strumenti per l’imballaggio avanzato; inoltre, è stato pienamente validato.
Cosa è importante dal punto di vista tecnico
I nostri riscaldatori senza halogeni, ottimizzati per l’utilizzo nelle aree a radiazioni infrarosse, garantiscono un’uniformità termica all’interno della piastra di ceramica entro i ±0,1°C, sia su substrati di dimensioni 150 mm che 200 mm. La precisione dei valori di regolazione è inferiore ai ±0,05°C. L’architettura del sistema è adatta all’uso in ambienti a norme Classe 1–100; inoltre, non viene emesso alcun particolo di dimensioni superiori a 0,1 μm una volta raggiunto lo stato stabile. L’isolamento in fibra di carbonio riduce il consumo energetico fino al 25%. È possibile aumentare la temperatura a un ritmo di 10°C/s senza che si verifichino deviazioni eccessive.
Le finestre in quarzo e i connettori standard sono conformi alle specifiche SEMI.
Perché è utile nelle linee di produzione
Nelle linee di fotolitografia, questo sistema di controllo termico migliora la distribuzione delle caratteristiche dei componenti elettronici, riducendo così il numero di riparazioni necessarie. Nelle linee di imballaggio, invece, stabilizza i parametri termici necessari per la polimerizzazione del materiale di rivestimento, riducendo così i difetti legati alla formazione di vuoti o a fenomeni di delaminazione.
La affidabilità del sistema è garantita da un tempo medio tra guasti superiore a 10.000 ore, con nessuna interruzione operativa durante i cicli di produzione durati diversi mesi. Inoltre, si ottiene una qualità maggiore, meno scarti e costi energetici prevedibili, senza modifiche al processo di produzione esistente.
Cosa bisogna pianificare
L’installazione richiede un circuito elettrico dedicato a 24 VDC, di classe 2, oltre a un sistema di scarico dell’aria conforme alle norme degli ambienti puliti. Ci vogliono circa 24 ore per configurare correttamente il sistema e per assicurarsi che tutti i parametri termici siano corretti per tutti i tipi di prodotti.
Il sistema è conforme alle specifiche SEMI; tuttavia, se si desidera integrarlo con controllori obsoleti, potrebbe essere necessario aggiornare le configurazioni del PLC. Noi forniamo le specifiche tecniche e assistenza per l’installazione, in modo che il passaggio al nuovo sistema avvenga in modo ordinato e senza interferenze.