Sul piano di litografia, basta un piccolo scostamento di mezzo grado durante il processo di essiccazione del fotorest per trasformare delle dimensioni dei bordi controllate in valori errati. Non si può ottenere una produzione stabile con parametri che cambiano continuamente. Per questo abbiamo creato moduli di riscaldamento a infrarossi in grado di mantenere il comportamento termico entro i limiti richiesti, shift dopo shift.
Ciò che è importante, dal punto di vista tecnico Utilizziamo emettitori a onde corte a filamenti ad alta risposta, così da ottenere un aumento rapido della temperatura e uno stato stazionario stabile. Sulla superficie della piattaforma di riscaldamento, l’uniformità a livello di wafer è di ±0,1°C, mentre la ripetibilità tra diversi lotti è di ±0,2°C. Il controllo avviene tramite sistemi di termometria a circuito chiuso e PID, con correzioni in tempi inferiori a un secondo; in questo modo la temperatura non cambia quando si apre la porta. I moduli vengono installati in ambienti puliti di classe 1–100, e l’assemblaggio in quarzo/ceramica è progettato per eliminare qualsiasi tipo di emissione di particelle: nessuna contaminazione, nessun deterioramento.
Perché funziona nel processo di trattamento del fotorest I processi di essiccazione “soft” e “hard” influenzano il procedimento di rimozione dei solventi e lo sviluppo delle strutture polimeriche. Il nostro sistema a infrarossi riduce i tempi di essiccazione, mantenendo al contempo il controllo delle dimensioni critiche. Inoltre, la rapida risposta degli emettitori riduce il consumo energetico, senza compromettere la produttività.
L’affidabilità si manifesta nell’orario di funzionamento: i moduli hanno funzionato per oltre 5.000 ore, con un’escursione della produzione inferiore al 5%. I moduli possono essere sostituiti facilmente, mantenendo così l’operatività della linea di produzione.
Cosa bisogna tenere a mente Per ottenere prestazioni ottimali, è necessario abbinare lo spettro emesso dagli emettitori alla capacità di assorbimento del fotorest utilizzato, nonché abbinare il montaggio dei moduli alle caratteristiche meccaniche e di raffreddamento dell’attrezzatura. È consigliabile effettuare un test preliminare per regolare i parametri PID e verificare l’uniformità sul proprio substrato specifico. Una volta configurati correttamente, i moduli mantengono un comportamento termico entro i limiti previsti.