웨이퍼 가공 과정에서 발생하는 튜브 고장의 악몽을 막는 방법
고부하 작동 중에 IR 램프가 파손된 경험이 있다면, 그로 인한 손실은 단순히 가동 중단뿐만이 아니라는 것을 알 것입니다. 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어지면서 오염이 발생하는 것입니다.
우리는 이런 일이 일어나지 않도록 하는 방법을 찾기 위해 많은 시간을 투자했습니다.
알루미늄 반사판의 중요성
우리는 단순히 열을 전달하는 용도로만 고순도 알루미늄 반사판을 사용하는 것이 아닙니다. 이를 일종의 안전망으로 생각할 수 있습니다. 램프를 정밀하게 가공된 알루미늄 구조물 안에 넣음으로써, 램프가 파손될 경우 그 파편들이 퍼지는 것을 막을 수 있습니다.
또한, 이러한 반사판의 형태 덕분에 더 적은 에너지로도 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 그렇게 되면 석영에 가해지는 열응력도 줄어들어 램프의 수명도 길어집니다.
깨끗한 환경 유지
또한, 램프와 웨이퍼 사이에 보호 장치를 설치합니다. 이는 간단한 해결책이지만 문제를 크게 줄여줍니다. 램프가 파손되면 보호 장치가 그 파편들을 받아줍니다. 그러므로 전체 챔버를 청소하는 데 시간을 낭비할 필요가 없습니다.
또한, 연결 부위에도 신경을 씁니다. 느슨한 연결 부위로 인해 램프가 조기에 파손되는 경우가 많았습니다. 이를 방지하기 위해 견고한 마운트를 사용하여 진동으로 인한 문제를 해결합니다.
타협점
물론, 반사판과 보호 장치를 추가하면 시스템의 무게가 증가합니다. 그래서 열을 높일 때 약간의 지연이 발생할 수 있습니다. 따라서 온도를 조절하기 위해 PID 설정을 조정해야 합니다.
하지만 웨이퍼가 안전하다는 것을 알 수 있다는 점에서 이는 작은 대가라고 할 수 있습니다.