샤rapnel을 막아라: IR 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
대량 생산이 이루어지는 반도체 공장에서는 단 한 번의 고장만으로도 하루의 작업이 망가질 수 있습니다. 여기서 말하는 것은 IR 램프가 고장나는 것입니다. 그런 상황이 발생하면, 단순히 램프가 고장난 것 이상의 문제가 생깁니다. 즉, 석영 조각들과 금속가루들이 기판 위로 떨어지는 것입니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 그러한 문제가 발생하기 전에 미리 대비하기 위해 클린룸용 히터를 개발했습니다.
램프 고장의 현실
고출력 IR 램프는 열악한 환경에서 작동합니다. 뜨거운 필라멘트와 차가운 부분 사이에서 계속해서 스트레스를 받습니다. 석영이 그러한 압력을 견디지 못하면 균열이 생깁니다.
우리는 저급한 석영을 사용하지 않습니다. 대신, 두꺼운 벽으로 만들어진 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이 석영은 팽창해도 변형되지 않아, 저급한 석영에서 나타나는 문제들을 효과적으로 방지할 수 있습니다.
안전 장치 추가
하지만 아무리 좋은 석영이라도 고장날 수 있습니다. 따라서 우리는 물리적인 보호 장치를 추가했습니다. 이것은 일종의 안전장치입니다. 램프가 파손될 경우, 이 보호 장치가 파편들을 가둡니다. 그렇게 되면 웨이퍼는 깨끗하게 유지됩니다.
또한, 전기적인 측면도 고려했습니다. 단자의 느슨한 연결로 인해 Hot Spot이 생겨 석영이 손상될 수 있습니다. 그래서 우리는 정밀하게 맞춰진 커넥터를 사용하여 열이 과도하게 발생하지 않도록 했습니다.
단점
물론, 이러한 조치에는 단점도 있습니다. 열원과 웨이퍼 사이에 보호 장치를 두면, 직접적인 열 전달이 줄어듭니다. 그래서 원하는 생산량을 얻으려면 출력을 높이거나 처리 시간을 조절해야 할 수도 있습니다.
따라서 전력 공급 장치가 추가된 부하를 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 전압이 떨어져서 불균일한 가열이 일어나고, 결국 웨이퍼가 손상될 수 있습니다.