Hentikan serpihan yang terhasil: Kekalkan kebersihan wafer ketika lampu IR rosak
Dalam proses pengeluaran semikonduktor yang berskala besar, satu kerosakan kecil pun boleh merosakkan seluruh proses pengeluaran. Saya maksudkan apabila satu daripada lampu IR tersebut rosak. Apabila itu berlaku, bukan sahaja lampu tersebut tidak berfungsi, tetapi serpihan kuarsa dan debu logam juga akan jatuh ke atas wafer tersebut. Ini merupakan situasi yang sangat buruk.
Itulah sebabnya kami membina pemanas khas untuk bilik bersih ini, agar dapat mengelakkan masalah tersebut sebelum ia bermula.
Realiti kerosakan lampu IR
Lampu IR berkuasa tinggi mempunyai jangka hayat yang singkat. Ia sentiasa berhadapan dengan tekanan yang tinggi antara filamen yang panas dan bahagian lampu yang sejuk. Jika kuarsa yang digunakan tidak berkualiti, ia akan retak akibat tekanan tersebut.
Kami tidak menggunakan kuarsa yang murah. Sebaliknya, kami menggunakan kuarsa sintetik yang berkualiti tinggi dan berdinding tebal. Kuarsa ini mampu menahan tekanan tanpa menjadi bengkok, sekali gus mengelakkan masalah yang berlaku pada lampu berkualiti rendah.
Langkah keselamatan tambahan
Namun, walaupun kuarsa berkualiti tinggi pun boleh rosak. Anda tidak boleh bergantung sepenuhnya pada kekuatan lampu tersebut. Oleh itu, kami menambah lapisan pelindung fizikal. Lapisan ini berfungsi sebagai perlindungan sekiranya lampu tersebut pecah. Serpihan-serpihan tersebut akan terperangkap, dan wafer anda akan tetap bersih.
Kami juga memeriksa aspek elektrikalnya dengan teliti. Sambungan yang longgar pada terminal boleh menyebabkan titik panas yang merosakkan kuarsa. Kami menggantikan sambungan tersebut dengan sambungan yang lebih tepat, agar suhu tetap stabil.
Kompromi yang perlu dibuat
Namun, ada satu kelemahan. Dengan adanya lapisan pelindung antara sumber haba dan wafer, tenaga radiasi yang sampai ke wafer akan berkurangan. Untuk memastikan kadar pengeluaran kembali seperti biasa, anda mungkin perlu meningkatkan kuasa lampu atau mengubah masa operasinya. Pastikan bekalan kuasa anda mampu menanggung beban tambahan tersebut. Jika tidak, voltan akan turun, dan ini akan menyebabkan pemanasan yang tidak sekata – yang seterusnya akan merosakkan wafer tersebut.