Di kawasan proses litografi, perubahan suhu sebanyak setengah darjah semasa proses pemanasan bahan fotoresist sudah cukup untuk mengubah garis sempadan yang sepatutnya terkawal menjadi tidak stabil. Anda tidak boleh mencapai hasil yang memuaskan dengan menggunakan nilai tetapan yang berubah-ubah. Oleh itu, kami membina modul pemanasan inframerah yang memastikan suhu kekal dalam lingkungan yang ditetapkan, dari satu sesi ke sesi yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikal:
Kami menggunakan pengeluar sinar inframerah gelombang pendek dengan filamen yang memberikan respons yang cepat. Ini membolehkan proses pemanasan berlaku dengan cepat dan keadaan suhu tetap stabil. Kestabilan suhu pada tahap wafer adalah sekitar ±0.1°C, manakala ketepatan pengulangan antara pelbagai kumpulan produk adalah ±0.2°C. Sistem kawalan termal menggunakan prinsip PID, dengan pembetulan yang dilakukan dalam masa beberapa saat sahaja. Modul-modul ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, dan komponen-komponen yang digunakan diperbuat daripada kuarsa/keramik agar tiada zarah terhasil—tiada pelepasan gas, tiada keretakan, dan tiada pencemaran.
Mengapa ia berkesan dalam proses fotoresist:
Proses pemanasan yang lembut atau keras bertujuan untuk menyingkirkan pelarut serta menghubungkan polimer-polimer tersebut. Penggunaan sinar inframerah memendekkan masa pemanasan sambil memastikan dimensi yang tepat dapat dikawal. Respons yang cepat bermakna haba yang tidak diperlukan berkurangan, sekali gus mengurangkan penggunaan tenaga tanpa menjejaskan kelajuan proses.
Kebolehpercayaan modul-modul ini dapat dilihat daripada masa operasi yang panjang—modul-modul ini telah beroperasi lebih dari 5,000 jam dengan perubahan output kurang dari 5%. Modul-modul ini juga boleh diganti dengan mudah, supaya proses tetap dapat berjalan seperti biasa.
Apa yang perlu diingat:
Prestasi optimum dicapai apabila spektrum sinar yang digunakan sesuai dengan sifat penyerapan bahan fotoresist, dan cara pemasangan modul tersebut sesuai dengan antaramuka mekanikal dan sistem penyejukan alat yang digunakan. Adalah penting untuk melakukan ujian awal untuk menyesuaikan parameter PID dan memastikan keseragaman suhu pada bahan yang digunakan. Setelah diselaraskan, suhu akan kekal dalam lingkungan yang ditetapkan.