Di fasiliti pengeluaran, proses pemanggangan bahan fotoresist bukan sekadar langkah biasa semata-mata. Ia merupakan faktor penting yang membantu memastikan kawalan dimensi komponen elektronik berjalan dengan lancar. Sebarang perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanggangan boleh menyebabkan keseluruhan proses litografi terganggu. Dengan ini, proses pengeluaran akan menjadi tidak konsisten.
Kami telah mencipta lampu pemanggangan bahan fotoresist yang mampu mengekalkan kestabilan suhu tersebut, dari satu sesi pengeluaran ke sesi yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan haba inframerah dekat (NIR) untuk mencapai keseragaman suhu pada skala sub-millimeter di seluruh permukaan wafer. Sistem ini memastikan suhu tetap stabil dalam julat yang ditetapkan. Energi yang digunakan disalurkan dengan cepat tanpa menyebabkan kerosakan pada bahan fotoresist. Suhu juga tetap konsisten di seluruh permukaan wafer, dan masa pemulihan antara setiap sesi pengeluaran juga singkat.
Kelebihannya ialah proses pemanggangan dapat berlangsung secara konsisten, seolah-olah ia merupakan parameter yang tetap, bukan sesuatu yang berubah-ubah.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Proses pemanggangan bahan fotoresist mempengaruhi proses penghilangan pelarut dan ketahanan lapisan bahan fotoresist pada permukaan wafer. Dengan menggunakan lampu ini, kita dapat mencapai keseragaman suhu di peringkat wafer, operasi yang efisien dalam persekitaran bilik bersih, serta pengurangan jumlah zarah yang terhasil. Ini seterusnya meningkatkan kadar pengeluaran dan mengurangkan pembaziran.
Sistem ini beroperasi 24/7 dengan hasil yang boleh diramal, sehingga gangguan yang tidak dijangka dapat dikurangkan. Anda akan menghabiskan lebih sedikit masa untuk menyesuaikan tetapan pemanggangan, dan lebih banyak masa untuk menghasilkan produk berkualiti tinggi.
Apa yang perlu diperhatikan
Lampu NIR perlu dipasang dengan teliti agar dapat berfungsi dengan baik. Penyelarasan lampu dengan permukaan wafer, sistem penyejukan yang efektif, serta perlindungan yang sesuai untuk komponen optik dan bahan-bahan lain sangat penting. Kualiti tenaga elektrik yang baik serta pengurusan haba yang efektif juga merupakan syarat penting agar keseragaman suhu dapat dipertahankan.
Kami menyediakan panduan pemasangan agar lampu dapat berfungsi dengan baik sejak hari pertama. Kami juga menyesuaikan sistem tersebut agar sesuai dengan geometri ruang pengeluaran dan sasaran kelajuan pengeluaran anda.