Op de productielijn is temperatuurschommeling tijdens het zachte of harde bakken geen klein probleem: het leidt tot echte defecten. Bij te lage temperaturen tijdens het zachte bakken blijft er oplosmiddel achter in de fotoresist. Bij te hoge temperaturen tijdens het harde bakken ontstaat er stroming, waardoor de patronen vervaagd raken. Het gevolg is dat er afgedankte wafers zijn, extra werk moet worden verricht en er energie wordt verspild die niet kan worden gerecycled.
Wat technisch gezien belangrijk is We hebben een warmtepomp ontworpen die ervoor zorgt dat de temperatuur op het niveau van de wafel constant blijft bij ±0,1°C, gedurende het hele proces. Hierdoor is het mogelijk om het bakproces nauwkeurig te beheren en blijft de controle over de essentiële dimensies stabiel. De snel reagerende elementen zorgen voor precieze temperatuurregeling. Het apparaat is compatibel met schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er extra deeltjes vrijkomen. Het apparaat kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstandsperioden. De lage energieverbruik zorgt voor lagere kosten, terwijl de temperatuurstabiliteit behouden blijft.
Het belangrijkste in de lithografie is dat de bakprocedures consistent blijven, batch na batch. Deze warmtepomp zorgt ervoor dat de temperatuur constant blijft, zodat het zachte bakken gelijkmatig verloopt en het harde bakken de fotoresist op de juiste manier behandelt. Hierdoor komt er minder herwerkwerk voor, is de opbrengst hoger en kunnen de cyclustijden nauwkeurig worden bepaald.
De energiebesparing komt doordat de warmtepomp efficiënt werkt en er minder energie wordt verbruikt tijdens het opwarmen en afkoelen. Dit zorgt voor lagere operationele kosten, terwijl de temperatuurstabiliteit behouden blijft.
Installatie en kalibratie Voor de installatie moet rekening worden gehouden met de bestaande faciliteiten. We leveren interfaceschema’s en documentatie over de compatibiliteit tussen de verschillende onderdelen, zodat u het apparaat gemakkelijk kunt integreren in uw systeem.
Plannen Sie een kort testproces om de specifieke instellingen van het apparaat vast te stellen. Het apparaat is robuust, maar toch is het nodig om het regelmatig te kalibreren – net zoals bij andere sensoren in het proces.