Inleiding
De waarheid is dat we onderdelen voor de verwarmingsapparatuur van EUV-resist maken om één simpele reden: zodat uw lithografieapparaten continu kunnen werken. Geen stilstand, geen problemen.
De eisen zijn streng, de toleranties zeer klein en de omstandigheden uiterst zwaar. Daarom staan we achter onze producten met een solide 24-maands kwaliteitsgarantie. En als er toch iets misgaat, staan we klaar met een 24-uurs technische ondersteuning. Want wanneer uw apparaten niet werken, kost elke minuut u geld.
Technische details
Voor het verwarmen van EUV-resist is nauwkeurige temperatuurregulatie essentieel. Daarom zijn onze verwarmerapparaten ontworpen om te werken met een invoerspanning van 400V en een uitvoersnelheid van 2500W. Deze hoge spanning en hoge vermogensgebruik zorgen voor een snelle opwarmtijd en constante temperatuur – precies wat nodig is voor optimale prestaties van de resist.
We hebben gekozen voor een buislengte van 300 mm: deze past perfect in de standaardzones voor verwarmerapparaten. Dit betekent dat het apparaat gemakkelijk kan worden vervangen, zonder dat er iets aan de geometrie van de kamer hoeft te worden veranderd. U kunt het apparaat dus snel vervangen en weer verder werken.
Materiaal en ontwerp
Binnenin zit een kortegolflengtes-halogeen-element dat is omhuld door kwarts. Kwarts kan snel opwarmen en afkoelen, en blijft zelfs in vacuüm schoon. Het kortegolffrequentiespectrum zorgt ervoor dat de energie precies daar terechtkomt waar het nodig is, met minimale straling.
Het speciale reflecterende laagje zorgt ervoor dat de infrarode energie rechtstreeks op het doel wordt gericht. Hierdoor wordt de thermische overdracht verbeterd en wordt minder warmte verspild.
De R7s-connector zorgt erop dat alles veilig en goed gealigneerd blijft, zelfs bij trillingen. Het is gemakkelijk om het apparaat aan te sluiten, waardoor de installatie soepeler verloopt en er minder warmtepunten ontstaan.
Toepassing en voordelen
Met deze oplossing wordt er een hoge warmtedichtheid geproduceerd, precies waar het nodig is. Hierdoor kunt u de temperatuur snel en nauwkeurig regelen.
De 24-maands kwaliteitsgarantie is geen lege belofte. Ze wordt ondersteund door gecontroleerde productieprocessen en tests in de praktijk. Hierdoor kunt u zeker plannen maken voor het onderhoud van uw apparaten.
En wanneer er problemen optreden, helpt onze 24-uurs technische ondersteuning u snel met het oplossen van problemen.
Eén ding om in gedachten te houden: het gebruik van 400V bij 2500W vereist goede koeling. De thermische beheersing van uw apparaat moet hieraan voldoen. Wij leveren zowel de verwarmerapparaten als de benodigde ondersteuning, zodat uw proces stabiel kan blijven.