In de fabriek mag er geen sprake zijn van thermische afwijkingen, want het 24/7-proces vereist precieze controle over de temperatuur. Een zachte verhitting bij 95°C en een harde verhitting bij 110°C – deze temperaturen bepalen namelijk de nauwkeurigheid van de lijnsteken en het aantal fouten dat kan optreden. Als de uniformiteit meer dan ±0,5°C bedraagt, leidt dit tot problemen met de kwaliteit van de producten.
We hebben onze thermische modules ontworpen om aan de echte eisen van halfgeleiderapparatuur te voldoen: ze kunnen worden gebruikt in fotolitografische processen en geavanceerde verpakkingsapparaten. Ze zijn volledig getest.
Wat technisch gezien belangrijk is: Onze hittebronnen, die geen halogeen bevatten en zijn ingesteld op gebruik in het NIR-bereik, zorgen voor een uniformiteit van ±0,1°C op oppervlakken van 150 mm en 200 mm. De herhalbaarheid van de instellingen ligt bovendien bij ±0,05°C.
Het systeem is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Er komen geen deeltjes groter dan 0,1 μm vrij wanneer het systeem in een stabiele staat is. De isolatie van koolstofvezels zorgt voor een energieverbruik dat tot 25% lager is. Bovendien kan de temperatuur met 10°C/s worden verhoogd, zonder dat er problemen ontstaan.
De kwartsramen en standaardconnectoren voldoen aan de specificaties van SEMI.
Waarom het nuttig is in de fabriek: In de fotolitografische apparaten zorgt de precieze temperatuurregeling voor een betere kwaliteit van de producten en minder herwerkwerk. Op de verpakkingslijnen zorgt het systeem voor een stabiele temperatuur, waardoor er minder problemen ontstaan met de onderdelen.
De betrouwbaarheid van het systeem is hoog: de MTBF is meer dan 10.000 uur, met geen onverwachte stilstand tijdens langdurige processen. Hierdoor kan men sneller tot productie overgaan, is er minder afval en zijn de kosten voorspelbaar – zonder dat de bestaande processen hoeven te worden veranderd.
Wat u moet plannen: Voor de installatie is een aparte voedingsbron van 24 VDC nodig, evenals een afvoersysteem dat geschikt is voor gebruik in schone ruimtes. Het duurt ongeveer 24 uur om het systeem te kalibreren en de optimale parameters vast te stellen.
Het systeem voldoet aan de SEMI-specificaties. Echter, als u het systeem wilt integreren met oudere controllers, kunt u een update van de PLC nodig hebben. Wij leveren de benodigde interfaces en zorgen voor de opstarting op locatie, zodat de overgang soepel verloopt.