Op de lithografielijn is het voldoende om de temperatuur tijdens het drogen van de fotorezyst met maar een halve graad te laten verschuiven, zodat de gewenste lijndiktes niet meer behouden blijven. Met dergelijke schommelingen in de temperatuur kan je de productiekwaliteit niet garanderen. Daarom hebben we infraroodverwarmingsmodules ontwikkeld die ervoor zorgen dat de temperatuur binnen de vereiste grenzen blijft, shift na shift.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken kortegolf-infraroodemitters met snel reagerende filamenten. Hierdoor kan de Temperatuur snel worden geregeld en blijft deze stabiel. Op het oppervlak van de plaat blijft de uniformiteit op ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende batches op ±0,2°C ligt. Er wordt gebruik gemaakt van gesloten-lusregeling en PID-technologie, zodat de temperatuur meteen wordt gecorrigeerd wanneer de deur wordt geopend. De modules zijn geplaatst in een steriele omgeving van klasse 1–100. Het kwarts/ceramische apparaat zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes vrijkomen – geen uitgasen, geen afbladderingen, geen vervuiling.
Waarom dit werkt bij het verwerken van fotorezyst: Bij zowel zachte als harde droogmethoden speelt de remming van oplosmiddelen en de kruislinking van polymeren een rol. Onze infraroodemitter’s verkorten de droogtijd, terwijl de controle over de cruciale dimensies behouden blijft. Hierdoor wordt de energieverbruik verminderd, zonder dat de productiecapaciteit wordt beperkt.
De betrouwbaarheid komt tot uiting in de standtijd: de modules hebben al meer dan 5.000 uur lang gewerkt, met minder dan 5% afwijking in de productiekwaliteit. De modules kunnen eenvoudig worden vervangen, zodat de productie ononderbroken kan doorgaan.
Wat je moet onthouden: Voor optimale prestaties is het belangrijk om het spectrum van de emitter aan te passen aan de absorptie van de fotorezystlaag. Ook moet de montage van de module worden aangepast aan de mechanische en koelsystemen van het apparaat. Plan eerst een klein aantal tests om de PID-regeling te finetunen en om te controleren of de uniformiteit op jouw specifieke ondergrond behouden blijft. Eenmaal goed afgesteld, zal de temperatuur zich binnen de vereiste grenzen houden.