Na linii produkcyjnej dewiacje temperatury podczas procesu suszenia delikatnego lub intensywnego nie tylko powodują przerwy w produkcji, ale także prowadzą do powstania rzeczywistych defektów. Zbyt niska temperatura podczas suszenia delikatnego sprawia, że rozpuszczalniki pozostają w fotorezystie. Zbyt wysoka temperatura natomiast powoduje przepływ składników chemicznych, co skutkuje zamazaniem wzorów na płytkach. Rezultatem jest konieczność wyrzucenia nieprzydatnych płytek, konieczność ponownej obróbki, a także straty energii, których nie możemy sobie pozwolić.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Stworzyliśmy grzałkę do płytek, która zapewnia jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C w całym oknie procesowym. Dzięki temu proces suszenia fotorezystu jest powtarzalny, a kontrola wymiarów pozostaje stabilna. Elementy o szybkiej reakcji umożliwiają precyzyjną kontrolę temperatury, a konstrukcja urządzenia jest kompatybilna z pomieszczeniami klasy 1–100, bez dodawania cząstek. Urządzenie może pracować 24/7 bez przerw, a niskie zużycie energii pozwala zachować stabilność temperatury.
W litografii istotne jest to, aby profile suszenia były niezmiennicze w każdej partii produktów. Nasza grzałka utrzymuje stałą temperaturę, dzięki czemu suszenie odbywa się równomiernie, a fotorezyst jest dobrze przygotowany do dalszej obróbki. To oznacza mniej konieczności ponownej obróbki, wyższą efektywność produkcji oraz przewidywalne czasy realizacji zleceń.
Oszczędności energetyczne wynikają z efektywnego ogrzewania oraz mniejszych strat energii podczas procesu nagrzewania i chłodzenia. Dzięki temu spadają koszty operacyjne, a okno procesowe pozostaje stabilne.
Instalacja i kalibracja Instalacja polega na dostosowaniu urządzenia do istniejących urządzeń i systemów dostarczania energii. Udostępniamy szkice interfejsów oraz informacje dotyczące kompatybilności poszczególnych elementów, aby można je było łatwo zainstalować.
Proponujemy krótki test kalibracyjny, aby ustalić odpowiednie parametry suszenia dla danego typu fotorezystu. Urządzenie jest wytrzymałe, ale nadal wymaga regularnej kalibracji – traktuj je tak samo jak każdy inny sensor używany w procesie produkcyjnym.