Na linii produkcyjnej ciągła praca 24/7 nie toleruje żadnych odchyleń termicznych. Delikatne suszenie przy temperaturze 95°C, intensywne suszenie przy temperaturze 110°C – to właśnie te temperatury decydują o precyzji kontroli grubości warstwy oraz o możliwościach minimalizacji defektów. Jeśli odchylenia temperatury przekroczą wartość ±0,5°C, pojawią się problemy z jakością produktu.
Nasze urządzenia zostały zaprojektowane tak, aby spełniać rzeczywiste wymagania sprzętu do produkcji półprzewodników – mogą zastąpić tradycyjne urządzenia do suszenia w procesie fotolitografii, a także służyć do zaawansowanych procesów pakowania. Są w pełni sprawdzone pod kątem swoich funkcji.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Nasze grzałki bez halogenu, dostosowane do działania w zakresie światła podczerwonego, zapewniają jednolitość temperatury na powierzchni płytek o rozmiarach 150 mm i 200 mm, przy odchyleniach na poziomie ±0,1°C. Dokładność ustawienia temperatury wynosi ±0,05°C.
Architektura urządzeń jest przystosowana do pracy w warunkach sal czystych klasy 1–100. Po osiągnięciu stanu równowagi nie powstaje żadnych cząstek o rozmiarze większym niż 0,1 μm. Izolacja z włókna węglowego pozwala zmniejszyć zużycie energii o nawet 25%. Można również regulować temperaturę z szybkością 10°C/s, bez ryzyka przekroczenia ustalonej wartości.
Okna kwarcowe oraz standardowe konektory odpowiadają specyfikacjom SEMI.
Dlaczego to urządzenie jest przydatne w linii produkcyjnej? W zakładach litografii ta kontrola termiczna poprawia rozkład temperatury na powierzchni płytek, co zmniejsza liczbę koniecznych korekt. W procesach pakowania zapewnia stabilność temperatury podczas procesu tworzenia form oraz wypełniania pustych przestrzeni pomiędzy elementami płytki. Dzięki temu zmniejsza się liczba pustych przestrzeni i problemów z delaminacją.
Niezawodność urządzenia wynika z tego, że jego czas pracy wynosi ponad 10 000 godzin, a nie występują żadne przestoje nieplanowane podczas długotrwałej pracy. Dzięki temu można szybciej przeprowadzić proces kalibracji, zmniejszyć ilość odpadków i mieć przewidywalne koszty eksploatacji – bez konieczności zmiany istniejących procedur produkcyjnych.
Co należy uwzględnić przy planowaniu? Do instalacji konieczny jest dedykowany obwód zasilający o napięciu 24 VDC, a także system odprowadzania gazów cieplnych zgodny z normami sal czystych. Proces kalibracji i ustalania parametrów termicznych zajmuje około 24 godzin.
Urządzenie spełnia standardy SEMI, ale jeśli chce się je połączyć z starszymi kontrolerami, może być konieczna aktualizacja ich specyfikacji. My dostarczamy specyfikacje interfejsów oraz pomagamy w instalacji urządzenia, dzięki czemu przechodzenie na nowy system przebiega sprawnie i bez zakłóceń.