Na stanowisku litograficznym wystarczy półstopniowa odchylenie w czasie wysuszania fotoopornika, aby kontrolowane szerokości linii przerodziły się w niekontrolowane odchylenia. Nie można osiągnąć żądanej jakości produktu przy takich niestabilnych parametrach. Dlatego stworzyliśmy moduły grzewcze na podczerwień, które utrzymują temperaturę w wymaganym zakresie, zarówno w jednej, jak i kolejnych partiach produktów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Używamy emiterów podczerwieni o krótkiej długości fali i szybkich świecach, dzięki czemu uzyskujemy szybkie nagrzewanie i stabilny stan równowagi termicznej. Na powierzchni płyty krzemowej jednorodność temperatury wynosi ±0,1°C, a powtarzalność pomiędzy różnymi partiami to ±0,2°C. Kontrolę zapewniają systemy pomiaru temperatury typu closed-loop oraz algorytmy PID, których korekcje następują w mgnieniu oka. Dzięki temu temperatura nie spada, gdy otwiera się drzwi. Moduły są zamontowane w sterylnych pomieszczeniach klasy 1–100, a konstrukcja z kwarcu i ceramiki zapewnia brak jakichkolwiek cząstek – bez wydzielania gazów, bez odprysków, bez zanieczyszczeń.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w procesie obróbki fotoopornika
Proces delikatnego i intensywnego wysuszania wpływa na usuwanie rozpuszczalników oraz na proces wiązania się polimerów. Nasze moduły podczerwieni skracają czas wysuszania, jednocześnie utrzymując kontrolę nad kluczowymi wymiarami. Szybka reakcja modułów oznacza mniejsze straty energii, dzięki czemu nie pogarsza się wydajność procesu.
Niezawodność modułów polega na tym, że mogą one pracować przez ponad 5 000 godzin z odchyleniem wydajności poniżej 5%. Można je łatwo zastąpić, dzięki czemu proces produkcji może być kontynuowany.
Na co należy zwrócić uwagę
Optymalna wydajność uzależniona jest od dostosowania spektrum emitowanego światła do właściwości absorpcji fotoopornika, a także od dostosowania montażu modułów do mechanizmów i systemów chłodzenia narzędzia. Należy przeprowadzić krótkie testy, aby dostosować parametry PID i sprawdzić jednorodność temperatury na konkretnym substracie. Gdy wszystko będzie dobrze dostosowane, temperatura będzie utrzymywana w wymaganym zakresie – nie tylko według danych teoretycznych.