Na fábrica de semicondutores, o ritmo de trabalho 24/7 não permite erros relacionados às flutuações térmicas. O processo de cozimento em temperatura moderada ocorre a 95°C, enquanto o processo de cozimento em alta temperatura acontece a 110°C. Essas temperaturas são cruciais para controlar a espessura das linhas e reduzir defeitos no produto final. Se a uniformidade térmica ultrapassar ±0,5°C, haverá perdas relacionadas ao tamanho dos semicondutores e outros problemas.
Desenvolvemos nosso sistema térmico para atender às exigências reais dos equipamentos de semicondutores – ele pode ser usado diretamente em equipamentos de fotolitografia e em ferramentas avançadas de embalagem. O sistema foi completamente testado e validado.
O que é importante tecnicamente: Nossos aquecedores sem halogênio, ajustados para operar na faixa do infravermelho próximo, mantêm a uniformidade térmica dentro de ±0,1°C em substratos de 150 mm e 200 mm. A repetibilidade dos valores de temperatura é de ±0,05°C. A arquitetura do sistema é adequada para ambientes de sala limpa de classe 1–100. Além disso, não há partículas acima de 0,1 μm uma vez que o sistema está em estado estável. O isolamento feito com fibra de carbono reduz o consumo de energia em até 25%. É possível aumentar a temperatura em 10°C/s sem que haja excessos.
As janelas de quartzo e os conectores padrão estão em conformidade com as especificações da SEMI.
Por que isso é útil na fábrica: Na área de fotolitografia, esse controle térmico melhora a distribuição dos semicondutores e reduz a necessidade de reprocessamento. Nas linhas de embalagem, ele estabiliza as condições térmicas necessárias para o curing dos materiais, reduzindo a formação de vazios e descolamentos.
A confiabilidade do sistema é garantida por um tempo médio entre falhas superior a 10.000 horas, com zero paradas não planejadas durante operações que duram vários meses. Isso resulta em qualificação mais rápida, menos desperdícios e custos previsíveis, sem alterar o processo existente.
O que você precisa planejar: A instalação requer uma fonte de alimentação dedicada de 24 VDC, além de um sistema de exaustão compatível com ambientes de sala limpa. Estima-se que sejam necessários cerca de 24 horas para configurar o sistema adequadamente para todos os produtos fabricados.
O sistema atende às especificações da SEMI. No entanto, se você estiver integrando-o com controladores antigos, pode ser necessário atualizar as especificações do PLC. Oferecemos as especificações de interface e assistência técnica no local, para que a transição seja feita de maneira ordenada e sem interrupções.