На производственной линии изменения температуры во время процедур мягкой или жесткой обработки не приводят лишь к временным сбоям в работе оборудования – они также вызывают реальные дефекты продукции. Недостаточная температура во время мягкой обработки приводит к тому, что растворитель остается в фоторезисте. Чрезмерная температура во время жесткой обработки нарушает структуру фоторезиста, что приводит к размытию изображений. В результате возникает необходимость выбрасывания бракованных пластин, повторной обработки продукции, а также потери энергии, которую нельзя себе позволить тратить впустую.
Что имеет значение с технической точки зрения?
Мы разработали нагреватель, который сохраняет однородность температуры на всей площади пластины в пределах ±0,1°C на протяжении всего процесса. Это позволяет обеспечить стабильность процесса обработки фоторезиста и контроль его критических размеров. Благодаря быстрой реакции нагревателя можно точно контролировать температуру. Кроме того, устройство совместимо с условиями чистых комнат класса 1–100 без образования частиц. Оно может работать круглосуточно без перерывов, а низкое энергопотребление позволяет снизить расходы, не жертвуя при этом стабильностью температуры.
Установка и калибровка
Установка заключается в соответствии размеров устройства с уже существующим оборудованием. Мы предоставляем чертежи соединений и документацию по совместимости компонентов, чтобы вы могли легко интегрировать устройство в существующую систему. Необходимо провести короткий тестовый запуск, чтобы определить оптимальные параметры обработки фоторезиста. Устройство очень надежно, но все равно требует регулярной калибровки – его следует обращаться так же, как и с любыми другими датчиками в производственном процессе.