На производственной линии непрерывная работа 24/7 не допускает возникновения температурных отклонений. Мягкая обработка при температуре 95°C и жесткая обработка при температуре 110°C — именно эти температуры определяют точность контроля толщины слоев и уровень дефектов. Если отклонения температуры превысят ±0,5°C, это приведет к снижению качества продукции и появлению дефектов.
Мы разработали нашу тепловую систему с учетом реальных требований оборудования для производства полупроводников: она может заменить собой стандартные устройства для обработки пластин в процессе фотолитографии, а также используется в современных устройствах для упаковки. Система полностью проверена на соответствие стандартам.
Что важно с технической точки зрения: Наши нагреватели без содержания галогенов, настроенные для работы в инфракрасном диапазоне, обеспечивают единообразие температуры на всей площади пластины в пределах ±0,1°C для пластин размером 150 мм и 200 мм. Повторяемость значений температуры составляет менее ±0,05°C.
Архитектура системы подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100. В состоянии стабильной работы система не выделяет частиц размером более 0,1 мкм. Изоляция из углеродных волокон позволяет снизить потребление энергии на 25%. Температуру можно изменять со скоростью 10°C/с, без риска перегрева.
Кварцевые окна и стандартные разъемы соответствуют стандартам SEMI.
Почему это важно на производстве: В зонах фотолитографии такой тепловой контроль способствует более точному контролю толщины слоев и снижает количество необходимости переработки продукции. На линиях упаковки он помогает стабилизировать температурные условия во время процесса отверждения композитных материалов, что снижает количество пор и дефектов.
Надежность системы обеспечивается благодаря сроку службы свыше 10 000 часов, без каких-либо сбоев в работе в течение нескольких месяцев. Это позволяет сократить время на настройку оборудования, уменьшить количество бракованных изделий и повысить предсказуемость расходов на эксплуатацию — без необходимости изменения существующих процессов производства.
Что необходимо учесть при планировании: Для установки требуется отдельная сеть питания напряжением 24 В, а также система вентиляции, соответствующая стандартам чистых помещений. На настройку системы потребуется примерно 24 часа.
Система соответствует стандартам SEMI. Однако, если вы используете устаревшие контроллеры, возможно, потребуется обновление их программного обеспечения. Мы предоставляем спецификации интерфейсов и помогаем с настройкой оборудования на месте, что позволяет осуществить замену оборудования без прерывания производства.