На производственной площадке температурные колебания во время обработки фоторезиста становятся заметными ещё до того, как их можно увидеть. Слой фоторезиста начинает деформироваться, контроль точности формы пленки затрудняется, а параметры процессов нагрева меняются. В таких случаях качество продукции ухудшается.
Что действительно важно Мы разработали эту инфракрасную лампу на основе золотого отражателя, что позволяет направлять инфракрасное излучение туда, где это необходимо, и исключать появление лишнего тепла. Благодаря этому температура на поверхности пластины остается стабильной в пределах ±0,1°C, а параметры процесса быстро подстраиваются под нужные значения. Нить накаливания и корпус лампы разработаны для работы в чистых помещениях класса 1–100: нет образования частиц, а мощность выходит стабильной в течение более 5 000 часов. Эта стабильность сохраняет температурный режим фоторезиста на протяжении всего процесса, что позволяет литографии и процессам эчинга работать корректно.
Почему это важно при обработке фоторезиста Этап нагрева определяет все последующие процессы: удаление растворителей, укрепление слоя фоторезиста и снижение напряжений в пленке. С помощью этой лампы можно получить именно тот профиль нагрева, который требуется – мягкий нагрев для удаления растворителей, интенсивный нагрев для укрепления слоя фоторезиста и повышения его устойчивости к эчингу. Это снижает количество повторных процедур, улучшает точность формы пленки и позволяет планировать качество продукции. Также повышается эффективность процесса, поскольку отражатель концентрирует тепло на самой пластине, а не на стенах камеры. Надежность процесса также повышается: меньше колебаний температуры, меньше простоев, а время выпуска продукции остается стабильным.
Практические детали Установка заключается в соответствии геометрии отражателя с конструкцией корпуса лампы и правильном выравнивании оптического пути. Если хотя бы один из этих факторов не будет соблюден, температурная однородность будет нарушаться. Потребуется небольшой период на настройку параметров в соответствии с особенностями пластины и её крепления. Лампа подходит для использования в стандартных креплениях, но золотой отражатель требует осторожного обращения – его следует обращаться как с любым компонентом, используемым в чистых помещениях, чтобы избежать загрязнений. Таким образом, тепловые характеристики лампы будут сохраняться на высоком уровне.