ในโรงงานผลิตชิป ความแปรปรวนของอุณหภูมิไม่ใช่เพียงแค่ตัวชี้วัดที่ต้องคอยติดตามเท่านั้น แต่ยังเป็นสาเหตุโดยตรงที่ทำให้เกิดการสูญเสียผลผลิตได้อีกด้วย การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างกระบวนการอบฟิล์มโฟโตรีสิสต์ ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิปเปลี่ยนแปลงได้ หากมีสารละลายหลงเหลืออยู่ในฟิล์ม ก็จะทำให้เกิดจุดบกพร่องบนพื้นผิวชิป ซึ่งหมายถึงการต้องทิ้งชิปนั้นไป
เราได้ออกแบบระบบทำความร้อนสำหรับวงจรการผลิตชิปของเราขึ้นมา เพื่อป้องกันปัญหาเหล่านี้ โดยเฉพาะในขั้นตอนการอบฟิล์มและการทำความสะอาดชิป
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ก็คือ… เราใช้เครื่องปล่อยรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น เพื่อส่งพลังงานความร้อนเข้าไปในชิปโดยตรง ซึ่งช่วยให้การควบคุมอุณหภูมิเป็นไปได้อย่างรวดเร็ว แม่นยำ และสามารถทำซ้ำได้ ในช่วงอุณหภูมิ 60°C สำหรับการอบฟิล์มแบบอ่อน และ 120°C สำหรับการอบฟิล์มแบบแข็ง ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนชิปจะอยู่ในช่วง ±0.1°C
ระบบควบคุมแบบลูปปิดหลายโซนช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยปรับสมดุลอุณหภูมิเมื่อเครื่องปล่อยรังสีมีอายุการใช้งานมากขึ้น หรือเมื่อแรงดันไฟฟ้ามีการเปลี่ยนแปลง นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ระหว่างกระบวนการอบฟิล์ม
เหตุใดระบบนี้จึงเหมาะสำหรับการผลิตชิปและการทำความสะอาดชิป… ในการผลิตชิป การอบฟิล์มแบบสม่ำเสมอจะช่วยให้ฟิล์มโฟโตรีสิสต์มีความมั่นคง ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้ดีขึ้น และลดจำนวนชิปที่ต้องทำใหม่ได้
สำหรับการทำความสะอาดชิป ระบบนี้ช่วยขจัดสารละลายที่เหลืออยู่บนพื้นผิวชิปได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่ก่อให้เกิดความเสียหายที่พื้นผิวชิป ซึ่งจะช่วยลดปัญหาที่เกิดจากน้ำที่หลงเหลืออยู่บนพื้นผิวชิปได้
นอกจากนี้ ระบบนี้ยังช่วยลดเวลาในการผลิตชิป และช่วยลดการใช้พลังงานอีกด้วย ระบบนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิด ซึ่งจะช่วยให้ประสิทธิภาพการผลิตชิปคงที่ และช่วยให้การบำรุงรักษาระบบเป็นไปอย่างมีแบบแผน
รายละเอียดที่ช่วยให้คุณหลีกเลี่ยงปัญหาต่างๆ… การใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นทำให้คุณต้องควบคุมอุณหภูมิอย่างระมัดระวัง โดยเฉพาะกับวัสดุที่ไวต่อความร้อน เรามีชุดคำแนะนำสำหรับการใช้งานระบบนี้ และทีมงานของเราจะช่วยปรับเวลาและอุณหภูมิให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิตของคุณ
นอกจากนี้ การติดตั้งระบบนี้จำเป็นต้องมีสายไฟ 240V โดยเฉพาะ และต้องมีระบบระบายอากาศที่มีประสิทธิภาพ เพื่อรักษาความดันในห้องสะอาดให้คงที่ การเลือกใช้ระบบนี้จะช่วยให้คุณสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยลดความเสี่ยงต่างๆ ได้