Wafer işleme sürecindeki tüp arızalarının getirdiği felaketleri önlemek
Eğer yüksek yük altında çalışırken bir IR lambasının patladığını gördüyseniz, bunun sadece üretimin durmasından ibaret olmadığını biliyorsunuzdur. Bu durum oldukça kötü bir durumdur; cam parçaları ve tungsten filamentler waferlerin üzerine düşerek kirlilik yaratır.
Bunu engellemenin yollarını bulmak için çok zaman harcadık.
Alüminyum yansıtıcıların neden önemli olduğu
Yüksek saflıkta alüminyum yansıtıcıları sadece ısıyı yönlendirmek için kullanmıyoruz. Bunları bir tür güvenlik ağı olarak da düşünebilirsiniz. Lambayı hassas şekilde işlenmiş alüminyum yapılar içine yerleştirerek fiziksel bir bariyer oluşturduk. Eğer lamba arızalanırsa, bu yapılar enkazın çoğunu yakalar. Ayrıca, bu yansıtıcıların şekli sayesinde fotonlardan daha fazla verim elde edebilirsiniz. Daha düşük güçte çalışarak hedef sıcaklıklara ulaşabilirsiniz. Bu da büyük bir avantajdır; çünkü kuvars üzerindeki ısı stresi azalır ve böylece tüpler daha uzun süre dayanır.
Her şeyin temiz tutulması
Ayrıca, lamba ile wafer arasına koruyucu ekranlar yerleştiriyoruz. Bu basit bir çözüm olmasına rağmen birçok sorunu ortadan kaldırır. Eğer lamba patlarsa, ekran parçaları yakalar. Böylece saatlerce tüm odanın temizlenmesine gerek kalmaz. Ayrıca bağlantı noktalarına da büyük önem veriyoruz. Boş bağlantılar yüzünden birçok lambanın erken bozulduğunu gördük. Bunu önlemek için sağlam montajlar kullanıyoruz ve titreşimleri kontrol altında tutuyoruz.
Değerlendirme
Elbette bir dezavantajı da var. Yansıtıcılar ve koruyucular sistemin ağırlığını artırır. Isıyı artırırken, sadece lambalar kullanıldığına kıyasla hafif bir gecikme olacaktır. Sıcaklığı kontrol altında tutabilmek için PID ayarlarınızı ayarlamanız gerekecektir. Waferlerinizin güvende olduğunu bilmek için ödenmesi gereken küçük bir bedeldir bu.